GaN-op-Si Epi Wafer Chuck

Semicorex GaN-on-Si Epi Wafer Chuck is een integraal onderdeel van de productie van halfgeleiders en maakt stabiele en betrouwbare ondersteuning mogelijk tijdens kritische processen zoals depositie, etsen en lithografie. GaN-on-Si Epi Wafer Chuck zorgt voor een efficiënte warmteafvoer, waardoor een uniforme temperatuurverdeling over de wafer wordt gehandhaafd om thermische gradiënten te voorkomen die defecten zouden kunnen veroorzaken. GaN-on-Si Epi Wafer Chuck is verkrijgbaar in verschillende maten en configuraties om tegemoet te komen aan verschillende waferafmetingen en verwerkingsvereisten, en biedt flexibiliteit voor diverse halfgeleiderfabricagebehoeften.

Toepassingen:

Epitaxiale groei: GaN-op-Si Epi Wafer Chuck biedt een stabiel platform voor de groei van hoogwaardige GaN-lagen op siliciumsubstraten. GaN-op-Si Epi Wafer Chuck is essentieel voor hoogwaardige elektronische en opto-elektronische apparaten.

Etsen en deponeren: Vergemakkelijkt uniforme materiaalverwijdering of afzetting, essentieel voor het bereiken van de gewenste structurele en elektrische eigenschappen van de apparaten.

De GaN-on-Si Epi Wafer Chuck is een onmisbaar hulpmiddel voor halfgeleiderfabrikanten die geavanceerde GaN-gebaseerde apparaten willen produceren en ongeëvenaarde prestaties bieden op het gebied van precisie, stabiliteit en duurzaamheid.