Grafiet susceptor met SiC-coating

Semicorex Graphite Susceptor met SiC-coating is een essentieel onderdeel ontworpen voor siliciumepitaxieprocessen in Applied Materials en LPE-eenheden (Liquid Phase Epitaxy). Deze susceptor is gemaakt van hoogwaardig grafietmateriaal gecoat met siliciumcarbide (SiC) en zorgt voor superieure prestaties en een lange levensduur in halfgeleiderproductieomgevingen. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

De SiC-coating op de Graphite Susceptor met SiC-coating dient meerdere doeleinden. Ten eerste zorgt het voor verbeterde thermische stabiliteit, waardoor nauwkeurige controle over temperatuurgradiënten tijdens epitaxiale groeiprocessen mogelijk is. Deze stabiliteit is cruciaal voor het bereiken van uniforme en hoogwaardige siliciumlagen in halfgeleiderwafels. De SiC-coating op Graphite Susceptor met SiC-coating biedt uitstekende weerstand tegen chemische corrosie en thermische schokken, waardoor de integriteit van de susceptor zelfs onder veeleisende procesomstandigheden wordt gewaarborgd. Deze duurzaamheid vertaalt zich in een langere operationele levensduur en minder stilstand, wat uiteindelijk bijdraagt aan een hogere productiviteit en kosteneffectiviteit voor halfgeleiderproductiefaciliteiten.

Het cilinderontwerp van de Graphite Susceptor met SiC-coating vergemakkelijkt het efficiënt laden en lossen van wafers, waardoor de doorvoersnelheid bij epitaxieprocessen wordt geoptimaliseerd. Bovendien is de Graphite Susceptor met SiC-coating een op maat gemaakt product, dat kan worden aangepast aan de specifieke eisen en voorkeuren van halfgeleiderfabrikanten, waardoor compatibiliteit met verschillende apparatuurconfiguraties en procesparameters wordt gegarandeerd.