Horizontale kamerovensische boten

Semicorex horizontale kamerovens siC-boten zijn een hoog-ontworpen onderdeel dat wafels of substraten vasthoudt en draagt, terwijl ze worden onderworpen aan thermische verwerking op hoge temperatuur in een horizontale kameroven. De wafelboot is gemaakt van hoge zuivere sic-gebonden Siliconencarbide (sic), die de unieke combinatie van sterkte, thermische stabiliteit en hoge chemische resistentie biedt die worden geëist in halfgeleider, fotovoltaïsche en geavanceerde keramische processen. De wafelboot fungeert ook als een rigide structuur om wafels in positie te houden, de dimensionale stabiliteit en de precisie van de wafels zullen niet verloren gaan door uitgebreide blootstelling aan de extreme procestemperaturen.

De superieure eigenschappen van siliciumcarbide bieden de horizontale kamerovens siC -boten een superieur prestatievoordeel in vergelijking met typische materialen voor wafelboten zoals kwarts of aluminiumoxide. Ze kunnen beter bestand zijn tegen zeldzame korte-duurverwarming en koelcycli vanwege hun hoge smeltpunt, thermische schokweerstand en mechanische sterkte, ongeacht de snelheid van verwarming en koeling of uitersten van de thermische cyclus. Aangezien een horizontale oven volledig afhankelijk is van de consistentie van de posities van de wafels en de blootstelling van procesomstandigheden, voorziet de juiste afstemming van wafels in consistente procesopbrengst en herhaalbaarheid. De lage coëfficiënt van thermische expansie betekent dat de boot niet zal vervormen tijdens zijn levensduur en een vaste vorm en afstand van de wafels zal bieden.

De fijnkorrelige, dichte structuur van herkristalliseerde SiC biedt opmerkelijke weerstand tegen oxidatie, corrosie en verontreiniging door procesgassen en bijproducten. Dit maakt de boot bijzonder voordelig voor processen in agressieve atmosferen zoals diffusie, oxidatie, LPCVD en gloeien. De hoge chemische inertie van SiC vermijdt reacties met de wafeloppervlakken, waardoor de productzuiverheid wordt behouden en deeltjes genereren in de oven. SIC -boten kunnen fabrikanten helpen die moeten voldoen aan de strenge reinigheidseisen, waardoor schonere verwerkingsomgevingen en verbeterde wafelkwaliteit moeten worden geboden.

Deze boten kunnen worden geproduceerd met verschillende complexe geometrieën en deelspecifieke dimensies met precisiebewerking en vormtechnieken. De ontwerpen gebruiken over het algemeen meerdere parallelle slots/groeven om de wafels veilig in een horizontale oriëntatie te houden en het hele wafeloppervlak uniform bloot te stellen aan thermische omstandigheden. Slot-to-slot afstand en hoeken kunnen ook worden geoptimaliseerd om wafels van andere diameters te passen, zoals 150 mm, 200 mm of 300 mm, en directe luchtstroom tijdens verwerkingseffecten terwijl het nog steeds temperatuuruniformiteit voor verwerking bereikt.

Niet alleen kunnen de horizontale kamer ovens-boten worden ontworpen in standaardafwijkingen, maar ze kunnen worden ontworpen om te werken met geautomatiseerde wafersladers, wat resulteert in een naadloze integratie in moderne productielijnen met hoge doorvoer. Het robuuste ontwerp maakt de boten ook minder geneigd om te chip of breken tijdens het hanteren en downtime en kosten voor vervangingen verminderen.

De thermische geleidbaarheid vansiliciumcarbidevertegenwoordigt een ander belangrijk voordeel dat een efficiënte warmteoverdracht tussen de wafels en de ovenomgeving vergemakkelijkt. Het voordeel is dat fabrikanten in staat zijn om meer uniforme verwerkingsomstandigheden en verkorten cyclustijden te bereiken, wat de productie -efficiëntie kan verhogen. De SIC -boten bieden consistente en herhaalbare resultaten of ze worden gebruikt voor de fabricage van halfgeleider, de productie van zonnecellen of andere geavanceerde materialenverwerking bij verhoogde temperaturen.

Samenvattend zijn de horizontale kamerovensische boten een belangrijk onderdeel voor fabrikanten die wafels willen produceren met een krachtige, langdurige en verontreinigende wafeldragers. Het heeft een mechanische sterkte, thermische stabiliteit en chemische traagheid die ongeëvenaard is in toepassingen van horizontale ovens. Door het kiezen van siliciumcarbideboten, kunnen operators een betere procescontrole, hogere opbrengsten gebruiken en operationele onderbrekingen als gevolg van onderhoud minimaliseren. Over het algemeen voorziet het in efficiëntere, kosteneffectieve producties.