Horizontale boten van siliciumcarbide

Semicorex horizontaalsiliciumcarbide botenworden integraal gevormd met behulp van 3D-printtechnologie en vervolgens vervaardigd door sinteren op hoge temperatuur. Deze componenten zijn speciaal gebouwd voor diverse horizontale ovenafmetingen bij hoge temperaturen en worden op grote schaal toegepast om de waferretentie stevig vast te houden in kritische productieprocessen van halfgeleiders bij hoge temperaturen, waaronder diffusie, oxidatie en chemische dampafzetting.

Fysisch-chemische eigenschappen van siliciumcarbide

De voordelen van Semicorex horizontale siliciumcarbide boots

1. Stabiele ondersteuning en positie

De ongeëvenaarde materiaalsterkte en hardheid geven Semicorex horizontale siliciumcarbide boten een uitstekend draagvermogen, waardoor ze stabiel meerdere wafers tegelijk kunnen vervoeren. Door middel van nauwkeurige sleufbewerking kunnen Semicorex horizontale siliciumcarbide boten halfgeleiderwafels stevig bevestigen en veilig vasthouden. De gelijkmatig verdeelde sleufstructuur zorgt ervoor dat wafers gedurende de gehele verwerkingscyclus een vaste positie behouden, waardoor de consistentie en precisie van halfgeleiderproductieprocessen wordt gegarandeerd.

2.Compatibiliteit met complexe bedrijfsomstandigheden

Dankzij hun superieure weerstand tegen hoge temperaturen en corrosiebestendigheid zijn Semicorex horizontale siliciumcarbideboten bestand tegen zware gebruiksomstandigheden, zoals atmosferen met hoge temperaturen van zuurstof, stikstof of waterstofchloride met een lage concentratie. Deze uitzonderlijke materiaaleigenschappen kunnen corrosie en schade veroorzaakt door corrosieve gassen bij hoge temperaturen effectief voorkomen, waardoor de operationele levensduur van de boten aanzienlijk wordt verlengd.

3. Uitzonderlijke zuiverheidsprestaties

Anders dan conventionele met siliciumcarbide gecoate grafietboten, zijn de horizontale siliciumcarbideboten van Semicorex vervaardigd uit halfgeleiderkwaliteit, hoge zuiverheidsiliciumcarbide(99,999%) met ultralaag onzuiverheidsgehalte. Deze hoogwaardige materiaalkeuze elimineert het risico op het uitgassen van verontreinigingen of het loslaten van de coating, zelfs bij blootstelling aan hoge temperaturen en agressieve corrosieve omgevingen. Bovendien wordt elk van onze siliciumcarbideboten onderworpen aan strenge ultrasone reinigingsprocessen voordat ze vacuüm worden verpakt, wat garandeert dat wordt voldaan aan de reinheidsnormen die vereist zijn voor geavanceerde halfgeleiderproductieprocessen.