MOCVD-inlaatringen

Semicorex is een grootschalige fabrikant en leverancier van siliciumcarbide gecoat grafiet in China. Onze MOCVD-inlaatringen hebben een goed prijsvoordeel en bestrijken veel van de Europese en Amerikaanse markten. Wij kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner te worden.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

Semicorex levert MOCVD-inlaatringen die worden gebruikt bij de depositie en waferverwerking, die zeer stabiel zijn voor RTA, RTP of agressieve chemische reiniging. Onze MOCVD-inlaatringen hebben een zeer zuivere, met siliciumcarbide (SiC) gecoate grafietconstructie, die superieure hittebestendigheid, zelfs thermische uniformiteit voor consistente dikte en weerstand van de epilaag, en duurzame chemische bestendigheid biedt. De fijne SiC-kristalcoating zorgt voor een schoon, glad oppervlak, dat van cruciaal belang is bij het hanteren, omdat onberispelijke wafers op veel punten over hun hele oppervlak in contact komen met de susceptor.

Bij Semicorex richten we ons op het leveren van hoogwaardige, kosteneffectieve MOCVD-inlaatringen, geven we prioriteit aan klanttevredenheid en bieden we kosteneffectieve oplossingen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner te worden, die hoogwaardige producten en een uitzonderlijke klantenservice levert.

Parameters van MOCVD-inlaatringen

Belangrijkste specificaties van CVD-SIC-coating
SiC-CVD-eigenschappen
Kristalstructuur	FCC β-fase
Dikte	g/cm³	3.21
Hardheid	Vickers-hardheid	2500
Korrelgrootte	urn	2~10
Chemische zuiverheid	%	99.99995
Warmtecapaciteit	J kg-1 K-1	640
Sublimatie temperatuur	℃	2700
Flexurale kracht	MPa (RT 4-punts)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt bocht, 1300℃)	430
Thermische uitzetting (CTE)	10-6K-1	4.5
Thermische geleidbaarheid	(W/mK)	300