Poreuze sic chuck

Semicorex poreuze SIC Chuck is een keramisch onderdeel dat is geassembleerd met precisie voor veilige, efficiënte verwerking van wafelsubstraten voor halfgeleidertoepassingen door processtappen zoals inspectie, testen en lithografie. De Chuck is vervaardigd van micro-poreuze siliciumcarbide keramiek (SIC). SiC heeft mechanische sterkte, chemische weerstand en thermische stabiliteitseigenschappen die nodig zijn voor geavanceerde semiconductorproductieomgevingen.

Een essentieel kenmerk van de poreuze SIC Chuck is de unieke microstructuur, die een porositeit van 35%-40%vertoont. Met de porositeit van de klootzak strak gecontroleerd, maakt het bovenliggende ontwerp het mogelijk om de vacuümzuiging gelijkmatig over de chuck te worden geren en consistente stabiele en contactloze ondersteuning voor typisch delicate wafersubstraten: silicium of gan, en andere samengestelde halfgeleiders.  De vacuümzuigmodus vermijdt zowel deeltjesverontreiniging als mechanische schade, waardoor de wafelintegriteit tijdens het proces wordt behouden.

Het keramische lichaam van de klootzak is voornamelijk een hoge zuiverheidssic, met ander keramiek, zoals aluminiumoxide (AL2O3), mogelijk gebruikt voor een beperkt aantal functionele lagen, afhankelijk van de toepassing. Door het onderzoek en de ontwikkeling van het materiaal kan de poriegrootte en -verdeling worden beheerd om de luchtstroom en vasthoudende kracht te ontwerpen, afhankelijk van de wafelgroottes en procesomstandigheden. Als het belangrijk is om het vacuüm op dunnere wafels te regelen, wordt kleinere poriegrootte opgenomen. Voor snellere stroomsnelheden waar nodig zal de grotere poriegrootte worden gebruikt.

Poreuze SIC Chucks vertonen kleurvariatie als gevolg van de variabele poriegroottes, keramische composities en schietomstandigheden. De SIC Chucks zijn meestal zwart of donkergrijs, omdat de kleur van siliciumcarbide grijs of zwart is, maar chucks met een groot aluminiumoxide-gehalte zijn meestal gebroken wit van kleur. De variaties in kleur hebben geen effect op de prestaties van het product en vertegenwoordigen alleen de ontworpen eigenschappen die zijn gemaakt voor specifieke toepassingen om te voldoen aan specifieke klantbehoeften.

Bij high-end wafelverwerkingstools zijn thermische stabiliteit en chemische inertigheid de twee belangrijkste kenmerken. Siliciumcarbide biedt uitstekende weerstand tegen corrosiegassen en thermische fietsen. De poreuze SIC Chuck werkt met succes in vacuümkamers en plasma -etsentools, en het blijft goed presteren met snel veranderende temperaturen. Hun vermogen om de dimmensionale stabiliteit van de klootzak te handhaven, zorgt ervoor dat de wafel op dezelfde locatie blijft, hoewel de nauwkeurigheidsvereisten onder sub-micron kunnen zijn, afhankelijk van het proces dat bijdraagt aan de dimensionale gestabiliseerde zorgt voor nauwkeurigheid.

Semicorex poreuze SIC -klootzakken worden gemaakt met behulp van geautoriseerde vorming en sinteringprocedures die een uniforme porositeit, hoge buigsterkte en lage thermische expansie bieden. Elke klootzak wordt geïnspecteerd op poriënstructuur, vlakheid en vacuümprestaties om een betrouwbaar en herhaalbaar product te garanderen. Aangepaste ontwerpen zijn ook beschikbaar voor specifieke wafelgroottes en systeemintegratie-eisen, zoals achterzijde gasstroomkanalen of montagefuncties.

Concluderend is de poreuze SIC Chuck een ondersteuningssysteem met veel betrouwbaarheid dat zorgvuldig is ontworpen om te werken in combinatie met de vereisten voor precisieverwerking. Met een hoge vacuümholding, aanpasbare poriënstructuur en uitstekende materiaalstabiliteit, is het een onmisbaar product in de fabricagelijnen van vandaag.