Robot-eindeffector

Semicorex is een toonaangevende, onafhankelijke fabrikant van siliciumcarbide gecoat grafiet en precisie-gefreesd hoogzuiver grafiet, met de nadruk op de siliciumcarbide gecoate grafiet-, siliciumcarbide-keramische en MOCVP-gebieden van de halfgeleiderproductie. Onze Robot End Effector heeft een goed prijsvoordeel en bestrijkt veel van de Europese en Amerikaanse markten. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

Robot End Effector is de hand van de robot die halfgeleiderwafels verplaatst tussen posities in waferverwerkingsapparatuur en dragers. Robot End Effector moet dimensioneel nauwkeurig en thermisch stabiel zijn, en tegelijkertijd een glad, slijtvast oppervlak hebben om wafers veilig te kunnen hanteren zonder apparaten te beschadigen of deeltjesverontreiniging te veroorzaken. Onze zeer zuivere siliciumcarbide (SiC) coating Robot End Effector biedt superieure hittebestendigheid, zelfs thermische uniformiteit voor consistente dikte en weerstand van de epi-laag, en duurzame chemische bestendigheid.

Parameters van Robot Eindeffector

Belangrijkste specificaties van CVD-SIC-coating
SiC-CVD-eigenschappen
Kristalstructuur	FCC β-fase
Dikte	g/cm³	3.21
Hardheid	Vickers-hardheid	2500
Korrelgrootte	urn	2~10
Chemische zuiverheid	%	99.99995
Warmtecapaciteit	J kg-1 K-1	640
Sublimatie temperatuur	℃	2700
Flexurale kracht	MPa (RT 4-punts)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt bocht, 1300℃)	430
Thermische uitzetting (CTE)	10-6K-1	4.5
Thermische geleidbaarheid	(W/mK)	300