RTP SiC-coatingdrager

Semicorex RTP SiC Coating Carrier biedt superieure hittebestendigheid en thermische uniformiteit, waardoor het de perfecte oplossing is voor toepassingen voor de verwerking van halfgeleiderwafels. Met zijn hoogwaardige SiC-gecoate grafiet is dit product ontworpen om bestand te zijn tegen de zwaarste afzettingsomgeving voor epitaxiale groei. De hoge thermische geleidbaarheid en uitstekende warmteverdelingseigenschappen zorgen voor betrouwbare prestaties bij RTA, RTP of agressieve chemische reiniging.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

Onze RTP SiC Coating Carrier is ontworpen om de zwaarste omstandigheden van de depositieomgeving te weerstaan. Dankzij de hoge hitte- en corrosieweerstand worden de epitaxiale susceptors onderworpen aan de perfecte afzettingsomgeving voor epitaxiale groei. De fijne SiC-kristalcoating op de drager zorgt voor een glad oppervlak en een hoge duurzaamheid tegen chemische reiniging, terwijl het materiaal is ontworpen om scheuren en delaminatie te voorkomen.
Bij Semicorex richten we ons op het leveren van hoogwaardige, kosteneffectieve RTP SiC-coatingdragers, geven we prioriteit aan klanttevredenheid en bieden we kosteneffectieve oplossingen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner te worden, die hoogwaardige producten en een uitzonderlijke klantenservice levert.
Neem vandaag nog contact met ons op voor meer informatie over onze RTP SiC Coating Carrier.

Parameters van RTP SiC-coatingdrager

Belangrijkste specificaties van CVD-SIC-coating
SiC-CVD-eigenschappen
Kristalstructuur	FCC β-fase
Dikte	g/cm³	3.21
Hardheid	Vickers-hardheid	2500
Korrelgrootte	urn	2~10
Chemische zuiverheid	%	99.99995
Warmtecapaciteit	J kg-1 K-1	640
Sublimatie temperatuur	℃	2700
Flexurale kracht	MPa (RT 4-punts)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt bocht, 1300℃)	430
Thermische uitzetting (CTE)	10-6K-1	4.5
Thermische geleidbaarheid	(W/mK)	300

Kenmerken van RTP SiC-coatingdrager

Zeer zuiver SiC-gecoat grafiet
Superieure hittebestendigheid en thermische uniformiteit
Fijne SiC-kristalcoating voor een glad oppervlak
Hoge duurzaamheid tegen chemische reiniging
Het materiaal is zo ontworpen dat scheuren en delaminatie niet optreden.