SiC-ashuls

Semicorex levert keramiek van halfgeleiderkwaliteit voor uw OEM-semifabricagegereedschappen en componenten voor het hanteren van wafers. Wij zijn al jaren fabrikant en leverancier van siliciumcarbide coatingfolie. Onze SiC-ashuls heeft een goed prijsvoordeel en bestrijkt de meeste Europese en Amerikaanse markten. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

Onze SiC-ashulzen zijn goed bestand tegen corrosie en uitstekend bestand tegen hoge temperaturen en thermische schokken. Een hoge elasticiteitsmodulus resulteert bovendien in een uitstekende maatvastheid. Bovendien is er de nulporositeit en lage poriedichtheid van het keramische materiaal.

We kunnen alle soorten SiC-ashulzen verwerken volgens de eisen van de klant.

Parameters van SiC-ashuls

Technische eigenschappen
Index	Eenheid	Waarde
Materiaalnaam		Reactie Gesinterd siliciumcarbide	Drukloos gesinterd siliciumcarbide	Herkristalliseerd siliciumcarbide
Samenstelling		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkdichtheid	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Buigsterkte	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Druksterkte	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hardheid	Knoop	2700	2800	/
Doorbrekende vasthoudendheid	MPa m1/2	4.5	4	/
Thermische geleidbaarheid	W/m.k	95	120	23
Coëfficiënt van thermische uitzetting	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Specifieke warmte	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Maximale temperatuur in de lucht	℃	1200	1500	1600
Elasticiteitsmodulus	Gpa	360	410	240

Semicorex produceerde SiC-ashulzen in drie vormen: reactiegesinterd siliciumcarbide (RBSiC), drukloos gesinterd siliciumcarbide (SSiC) en recrystal siliciumcarbide (R-SiC).

Het verschil tussen SSiC en RBSiC:

1. Het sinterproces is anders. RBSiC is bedoeld om bij lage temperatuur vrij Si in siliciumcarbide te infiltreren, SSiC wordt gevormd door natuurlijke krimp bij 2100 graden.

2. SSiC heeft een gladder oppervlak, een hogere dichtheid en een hogere sterkte. Voor sommige afdichtingen met strengere oppervlakte-eisen zal SSiC beter zijn.

3. Verschillende gebruikte tijd onder verschillende PH en temperatuur, SSiC is langer dan RBSiC

Kenmerken van SiC-ashuls

- Hoge sterkte (Mohs-hardheid 9,5, tweede alleen voor diamant)

- Corrosiebestendigheid tegen zuren, logen, zouten en organische oplosmiddelen

- Hoge thermische geleidbaarheid, plasmaweerstand, lange levensduur

- Halfgeleiders

Beschikbare vormen van siliciumcarbide-keramiek:

● Keramische staaf / keramische pin / keramische plunjer

● Keramische buis / keramische bus / keramische huls

● Keramische ring / keramische ring / keramische afstandsring

● Keramische schijf

● Keramische plaat / keramisch blok