SiC-boot voor het hanteren van wafels

De Semicorex SiC Boat for Wafer Handling onderscheidt zich door zijn ongeëvenaarde verhouding tussen sterkte en gewicht en superieure thermische geleidende eigenschappen en ondergaat een verder verbeteringsproces door middel van een CVD SiC-coating. Deze extra coatinglaag versterkt de weerstand tegen de ontberingen van verwerkingsomgevingen en beschermt deze tegen zowel chemische degradatie als thermische schommelingen, waardoor de operationele levensduur aanzienlijk wordt verlengd en consistente prestaties onder strenge operationele eisen worden gegarandeerd.

Bij thermische bewerkingen zoals gloeien of diffusie speelt de SiC Boat for Wafer Handling een belangrijke rol bij het bereiken van een gelijkmatige temperatuurverdeling op het oppervlak van de wafer. De uitstekende thermische geleidbaarheid vergemakkelijkt een effectieve warmteverspreiding, waardoor thermische verschillen worden verminderd en uniformiteit in procesresultaten wordt bevorderd.

De Semicorex SiC Boat voor Wafer Handling wordt gewaardeerd om zijn betrouwbaarheid en uitstekende prestaties en voldoet aan de strenge eisen van de hedendaagse halfgeleiderproductie. Met zijn aanpasbaarheid voor zowel batch- als individuele waferprocessen is de SiC Boat for Wafer Handling een essentieel hulpmiddel voor halfgeleiderproductiefaciliteiten die zich toeleggen op het bereiken van superieure productnormen en maximale opbrengsten. De rol van de SiC Boat for Wafer Handling is van cruciaal belang bij het handhaven van zowel de integriteit en betrouwbaarheid van de wafers, en vindt uitgebreide toepassing in halfgeleiderproductieapparatuur, industriële apparaten en als vervangende onderdelen.