SIC -boothouders

Semicorex SIC-boothouders zijn precisie-ondersteuningsapparaten die zijn ontworpen om wafelboten te houden tijdens processen op hoge temperatuur in de fabricage van halfgeleiders. Gemaakt van siliciumcarbide met hoge zuiverheid (SIC), vertonen deze houders uitstekende thermische stabiliteit, chemische resistentie en mechanische stijfheid, essentiële kenmerken bij gebruik in processen zoals diffusie, oxidatie en epitaxiale groei.

Bij het veeleisen van halfgeleiderfabricage omgevingen is het beschermen van wafelintegriteit en het minimaliseren van verontreiniging cruciaal. SIC -boothouders bieden een solide, inert platform dat extreme ovenomgevingen kan verdragen met behoud van integriteit zonder vervorming en zonder vrijlating van verontreinigingen. Hun chemische inertie maakt hun gebruik met reactieve procesgassen mogelijk, terwijl hun thermische transmissie zelfs verwarming van het oppervlak van de wafels bevordert voor consistente verwerking.

Elke SIC -boothouder wordt vervaardigd met een hoge tolerantie voor dimensionale nauwkeurigheid, waardoor ze gemakkelijk te accommoderen en aan te passen aan elk wafer boottype en geautomatiseerde laadconfiguraties. Hun rigide structuur creëert niet alleen sterke, stabiele en adequate ondersteuning voor de wafelboten, maar vermindert ook de kans dat micro-vibraties of positionele verschuivingen op de wafels kunnen hebben. Bovendien heeft siliciumcarbide een uitstekende slijtvastheid en kan het herhaaldelijk warmtecycling aan om een lange levensduur te bieden, wat resulteert in weinig downtime en vervanging van flacononderdelen.

De unieke kenmerken van siliciumcarbide kunnen extra voordelen bieden met betrekking tot procesinheid. In tegenstelling tot metalen of keramische materialen van lagere kwaliteit, schilfert SiC niet, uit de weg of chemisch afgebroken bij extreme temperaturen of in plasma. Dit maakt SIC -boothouders een geweldig hulpmiddel voor fabrikanten die proberen de cleanroom -besmetting te beperken voor geavanceerde halfgeleiderknooppunten die een hoge opbrengst en zuiverheid vereisen.

Semicorex SIC -boothouders worden geproduceerd met behulp van unieke vorm- en sinterprocessen die zorgen voor uniforme microstructuur en mechanische prestaties tussen batches en over meerdere boothouders. Holdervorm of slotconfiguratie kan bijvoorbeeld worden aangepast, evenals het type montage.

Of het nu wordt gebruikt in verticale ovens of horizontale reactoren, het aanpassen van semicorex SIC-boothouders zal voldoen aan de toleranties voor de volgende generatie halfgeleider manufacturing. Als u Semicorex -producten kiest, weet u dat u hebt gewerkt met een leverancier die deskundig is, gewijd aan materiële excellentie en ernaar streeft om continu keramische componenten te innoveren met betrekking tot betrouwbaarheid en levering.