SiC-boot

Semicorex SiC-boten zijn zorgvuldig vervaardigd uit zeer zuiver SiC-keramiek, een materiaal dat bekend staat om zijn ongeëvenaarde thermische stabiliteit, uitzonderlijke mechanische sterkte en onwrikbare chemische inertie. Deze kwaliteiten maken het de perfecte keuze voor de strenge omstandigheden van de halfgeleiderfabricage.

SiC-boten beschikken over een ongeëvenaarde mechanische sterkte en duurzaamheid, dankzij de hardheid van het materiaal en de uitzonderlijke slijtvastheid. Dit stelt hen in staat om de veeleisende aard van halfgeleiderproductieomgevingen met hoge doorvoer te doorstaan ​​zonder te bezwijken voor geleidelijke slijtage. In tegenstelling tot andere materialen behoudt SiC zijn structurele integriteit in de loop van de tijd, waardoor de noodzaak voor frequente vervangingen aanzienlijk wordt verminderd en de uitvaltijd bij productieactiviteiten tot een minimum wordt beperkt – wat uiteindelijk leidt tot aanzienlijke kostenbesparingen voor halfgeleiderfabrikanten.

De chemische inertheid van SiC versterkt de geschiktheid ervan voor halfgeleiderprocessen verder door het zeer resistent te maken tegen chemische aantasting door reactieve gassen en veelgebruikte materialen zoals chloor en fluor. Deze robuuste weerstand zorgt ervoor dat SiC-boten de wafers niet verontreinigen tijdens de verwerking, waardoor de zuiverheid en kwaliteit van de halfgeleiderapparaten die worden vervaardigd, behouden blijft. Voor processen die een nog hoger niveau van chemische bestendigheid vereisen, kunnen SiC-boten worden gecoat met een extra laag SiC, wat een extra barrière vormt tegen chemische aantasting en de oppervlakteafwerking van de boot verbetert om het risico op verontreiniging door deeltjes te verminderen.

De hoge zuiverheid van het SiC-keramiek dat in deze boten wordt gebruikt, is van cruciaal belang, omdat bij de productie van halfgeleiders materialen met minimale onzuiverheden vereist zijn. Zelfs kleine hoeveelheden verontreinigingen kunnen de elektrische eigenschappen van wafers aantasten en resulteren in defecten in de uiteindelijke apparaten. SiC-boten zijn gemaakt van ultrazuiver SiC-keramiek om ervoor te zorgen dat ze geen onzuiverheden in de procesomgeving introduceren, zelfs niet bij de hoge temperaturen en reactieve omstandigheden die kenmerkend zijn voor de productie van halfgeleiders. Deze zuiverheid versterkt de betrouwbaarheid van SiC Boats voor kritische processtappen.

De compatibiliteit van SiC Boats met verschillende halfgeleiderapparatuur is van het grootste belang. Dankzij de veelzijdigheid van SiC kan het nauwkeurig worden bewerkt om te voldoen aan de specifieke afmetingen en configuraties die vereist zijn voor verschillende soorten halfgeleiderovens en reactoren, waardoor ze geschikt zijn voor een breed scala aan toepassingen, van kleinschalige onderzoeks- en ontwikkelingsactiviteiten tot grootschalige productielijnen. Bovendien dragen de uitzonderlijke thermische geleidbaarheid en warmteafvoerende eigenschappen van het materiaal bij aan een efficiëntere temperatuurcontrole tijdens de verwerking, waardoor de prestaties en opbrengst van halfgeleiderapparaten verder worden verbeterd.