SiC cantileverpeddel

Semicorex SiC (Silicon Carbide) Cantilever Paddle is een cruciaal onderdeel dat wordt gebruikt in halfgeleiderproductieprocessen, met name in diffusie- of LPCVD-ovens (Low-Pressure Chemical Vapour Deposition) tijdens processen zoals diffusie en RTP (Rapid Thermal Processing). Het dient voor het ondersteunen en transporteren van wafels in de procesbuis van deze ovens.

Semicorex SiC Cantilever Paddle bestaat voornamelijk uit siliciumcarbide, een robuust en thermisch stabiel materiaal dat bekend staat om zijn hoge temperatuurbestendigheid en uitstekende mechanische eigenschappen. SiC is gekozen vanwege zijn vermogen om de zware omstandigheden te weerstaan ​​die zich voordoen in de procesomgevingen met hoge temperaturen van halfgeleiderovens. Dankzij het ontwerp van de SiC Cantilever Paddle kan deze zich uitstrekken tot in de procesbuis van de oven, terwijl hij aan één uiteinde buiten de buis stevig verankerd is. Dit ontwerp zorgt voor stabiliteit en ondersteuning voor de wafels die worden verwerkt, terwijl interferentie met de thermische omgeving in de oven wordt geminimaliseerd.

De SiC Cantilever Paddle moet halfgeleiderwafels veilig in de procesbuis vervoeren tijdens verschillende hogetemperatuurprocessen zoals diffusie en RTP. De robuuste constructie zorgt ervoor dat het bestand is tegen de extreme temperaturen en chemische omgevingen die tijdens deze processen voorkomen, zonder degradatie of defecten. SiC Cantilever Paddles zijn ontworpen om compatibel te zijn met een breed scala aan halfgeleiderwafelformaten en -vormen die vaak in de industrie worden gebruikt. Ze zijn vaak aanpasbaar om tegemoet te komen aan specifieke ovenconfiguraties en procesvereisten.