Sic cantilever peddels

Semicorex SIC Cantilever-paddles zijn hoogwaardige componenten die zijn ontworpen, juist voor waferafhandeling en wafer transport in halfgeleider thermische verwerkingsapparatuur (LPCVD, PECVD, oxidatie en diffusieversten). Deze vrijdragende peddels bieden een platform voor wafels en een noodzakelijke vorm van ondersteuning die zorgt voor stabiel en betrouwbaar transport van brosse wafels door harde hoge temperatuurprocessen (vaak meer dan 1200 ° C). De cantilever-peddels worden vervaardigd uit siliciumcarbide (SIC) met hoge zuiverheid die mechanische duurzaamheid, thermische stabiliteit en anti-corrosieve eigenschappen biedt voor de semiconductor-fabricagomgeving.

Siliciumcarbide is een super-premium keramisch materiaal met uitstekende thermische geleidbaarheid, lage thermische expansie en het vermogen om betrouwbaar te presteren in chemisch vijandige omgevingen. Siliciumcarbide in cantileverpeddels kan helpen de thermische kromtrekken te verminderen

 en beweging die wafels plat en in hun nominale verwerkingspositie houdt. Thermische stabiliteit van de wafel in de context van cantileverpeddels is belangrijk om problemen van deeltjesverontreiniging en mechanische beweging te minimaliseren, vooral bij het produceren van geavanceerde knooppuntapparaten. Deze problemen kunnen leiden tot opbrengstverlies of kostbaar herwerk en vervanging van wafels.

De monolithische vorm van de SIC Cantilever -peddels verbetert de mechanische robuustheid en thermische uniformiteit, terwijl gewrichten en zwakke punten worden geëlimineerd die meestal in composieten kunnen bestaan. Bovendien wordt de oppervlakteafwerking van de peddels specifiek gecontroleerd en over het algemeen gepolijst tot een bijna spiegelkwaliteit om deeltjesgeneratie te minimaliseren en is het zeer compliant.

In diffusie- en oxidatieprocessen die zuurstof, stoom en andere reactieve gassen omvatten; Conventionele materialen kunnen in de loop van de tijd inslokken of vervormen. SIC's inherente chemische inerteigenschap zorgt ervoor dat de peddels niet zullen overtreffen, of corroderen en verontreiniging in het proces introduceren vanwege het gebruik van onstabiele materialen, wat bijdraagt aan een stabieler proces en betrouwbare resultaten.  De structurele integriteit van sic cantilever -peddels blijft stabiel ondanks snel fietsen van verwarming en koeling. Daarom bieden ze een lange operationele levensduur met sterk verminderde onderhoud of onderdeelvervangende downtime.

Bovendien zorgen de verminderde massa en het lichtgewicht van SiC -paddles mogelijk voor een snellere thermische respons; waardoor snellere thermische ramp-up en koelingstijden bijdragen aan een verhoogde productiviteit en energie-efficiëntie, alle belangrijke statistieken in het concurrentielandschap van de fabricage van halfgeleiders.

SIC Cantilever -peddels kunnen worden geleverd in verschillende configuraties en maten, ontworpen en vervaardigd voor verschillende ovenontwerpen en wafingsgroottes variërend van 100 mm tot 300 mm en groter. OEM's en apparatuurintegrators waarderen de consistentie en betrouwbaarheid van de SIC-peddels in de loop van de tijd, voor implementaties in zowel front-end als back-end processen.

Semicorex biedt premium SIC cantilever -peddels met strakke controle op materiaalzuiverheid, microstructuur en dimensionale toleranties. Onze geavanceerde procesmogelijkheden, in combinatie met onze kennis van de thermische dynamiek van halfgeleiders, stellen ons in staat om peddels te produceren met deze attributen die voldoen aan of overtreffen van de industriële normen voor stabiliteit, netheid en duurzaamheid. Wanneer het gelijk en betrouwbaar moet zijn, is Semicorex de plek om te gaan voor kwaliteitsscomponenten.