Sic keramische boten

Semicorex SIC-keramische boten zijn ultramoderne vervoerders die speciaal zijn ontworpen om Semiconductor Wafers veilig te vervoeren, op te slaan en te verwerken in de meest veeleisende chemisch en thermisch extreme omgevingen. De halfgeleiderindustrie heeft snel nieuwe prestatienormen aangenomen die siC-keramische boten hebben vereisen om betrouwbaar, vertrouwd en verontreinigingsvrij de intolerante en kritische eisen te bereiken voor de moderne wafersfabricageprocessen.

Sterke thermische stabiliteit en sterkte

Het bepalende kenmerk van SIC -keramische boten is de zeer hoge thermische stabiliteit. SIC -keramische boten kunnen de temperatuur van meer dan 1600 ° C verdragen zonder hun vorm of structuur te verliezen tijdens agressieve thermische cyclieprocessen. Vanwege de ultra-lage thermische expansiecoëfficiënt zijn SIC-keramische boten minder vatbaar voor vervorming en barsten, waardoor strakke toleranties en algehele wafingsveiligheid tijdens het hanteren onder stijve omstandigheden mogelijk zijn.

Hoge zuiverheid en chemische weerstand

SIC-keramische boten zijn gefabriceerd uit ultrahoge zuiverheid siliciumcarbide. SIC -keramische boten zijn ook zeer resistent tegen chemische afbraak, corrosief en eroderende plasma. De inerte aard van SIC -keramische boten betekent processen van corrosieve gassen, reactieve omgevingen, zure omstandigheden zouden geen besmetting vormen van de boot of niets oplosbaars om het werkproces te schaden. Het niet-contaminerende oppervlak van SIC-keramische boten maakt geen deeltjesgeneratie of ionenuitloging mogelijk, dus een wafeloppervlak wordt niet in gevaar gebracht door onzuiverheden die de prestaties of opbrengst van het apparaat belemmeren.

Precisie -engineering voor veilige wafelafhandeling

SIC -keramische boten worden binnen strakke toleranties vervaardigd, waardoor ze wafels van verschillende diameters kunnen verwerken, waaronder 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm en meer. Het structurele ontwerp van SIC -boten biedt een uitstekende vlakheid, parallellisme en uniforme sleufgrootte om de juiste wafers te behouden en de randen van de wafel te beschermen bij het overbrengen naar een ander proces of gereedschap. Alle SIC -boten kunnen worden ontworpen met aangepaste afmetingen om overeen te komen met de toolset of aan eventuele automatiseringsspecificaties te voldoen.

Lange levensduur en kostenefficiënter

SIC vervangt traditionele materialen (kwarts, aluminiumoxide) door aanzienlijk verbeterde mechanische sterkte, breuktaaiheid en thermische schokweerstand. Dit duurzaamheidsniveau vertaalt zich in een langere levensduur vóór "falen", aanzienlijk minder vervangingen tijdens de werking en lagere totale eigendomskosten. De consistentie in de prestaties van de duurzaamheid van SiC zal de down -tijden verminderen en de doorvoer op de productielijnen van halfgeleiders versnellen.

Open applicaties in halfgeleiderprocessen

SIC-keramische boten worden veel gebruikt in front-end halfgeleiderprocessen zoals:

LPCVD en PECVD -afzetting

Thermische oxidatie

Ionimplantatie

Gloeien en diffusie

Wafelreiniging en chemische verwerking

SIC -keramische handgrepen hebben compatibele verwerkingstoepassingen in zowel atmosfeer- als vacuümproceskamers, waardoor het een ideale keuze is voor gieterijen en fabs die het risico op besmetting willen minimaliseren en verminderen en tegelijkertijd de productiviteit verbeteren.