SIC keramische cantileverpeddels

SemicorexSIC keramische cantileverpeddelszijn cruciale componenten voor het verplaatsen van waferdragers in en uit ovens. Ze worden veel gebruikt in thermische verwerkingsapparatuur zoals oxidatie-, diffusie- en LPCVD-ovens (Low-Pressure Chemical Vapour Deposition) bij de productie van fotovoltaïsche en halfgeleiders.

Vanwege de uitstekende mechanische sterkte, thermische stabiliteit, hoge temperatuurbestendigheid, oxidatieweerstand, thermische schokbestendigheid en chemische corrosieweerstand van reactiegebonden siliciumcarbide (RBSIC), is het geschikt voor de vervaardiging van grote cantileverpeddels van siliciumcarbide.

SemicorexSIC-keramiekCantilever-peddels ontlenen hun hoge draagvermogen aan de inherente mechanische sterkte en stijfheid van hoogwaardig reactiegebonden siliciumcarbide (RBSiC) materiaal. Deze peddels zijn in staat de zware belasting van siliciumwafels te dragen, optimaliseren de doorvoer voor individuele diffusiecycli en helpen bij het verbeteren van de productie-efficiëntie.

De superieure materiaaleigenschappen van reactiegebonden siliciumcarbide zorgen ervoor dat de SIC keramische cantilever-peddels uitstekende stabiliteit hebben in werkomgevingen met hoge temperaturen, waardoor de concentriciteit van de siliciumwafel en de ovenbuis wordt gewaarborgd, waardoor processen zoals diffusie en passivatie uniformer worden. Deze stabiliteit voorkomt effectief vervorming of schade aan de siliciumcarbide cantilever-peddel veroorzaakt door hoge temperaturen en zware belasting, waardoor het risico op resulterende schade aan de siliciumwafel of uitval van apparatuur wordt verminderd.

Semicorex SiC keramische cantileverpaddles maken gebruik van het uit één stuk bestaande 3D-printproces, dat van groot belang is voor het behoud van de maatnauwkeurigheid en vormconsistentie van componenten. Dit ontwerp van SiC-keramische cantilever-peddels zorgt ook voor naadloze compatibiliteit met diffusieovensystemen. Hun robuuste cantileverstructuur maakt soepele, trillingsvrije overdrachten mogelijk, waardoor de kans op wafelbreuk of afwijking bij het laden en lossen wordt geminimaliseerd.

Kwaliteit staat bij Semicorex hoog in het vaandel. Alle afgewerkte cantilever-peddels van siliciumcarbide moeten meerdere testprocedures ondergaan, inclusief controles van de maatnauwkeurigheid en evaluaties van materiaaleigenschappen, om de superieure kwaliteit te garanderen. Als u inkoopbehoeften heeft, aarzel dan niet om contact met ons op te nemen.