SiC-gecoate gasomleidingsschijven

Semicorex is het mooie voorbeeld van geavanceerde materialen van halfgeleiderkwaliteit en geavanceerde productietechnologieënSiC-gecoatgasomleidingsschijven zijn nauwkeurig vervaardigd uit zeer zuiver grafiet als hun matrices met een dichte SiC-coating via chemische dampafzetting. Gasafleidingsschijven zijn hoofdzakelijk ontworpen om reactiegas gelijkmatig over het waferoppervlak te verdelen om volledige reacties tijdens de verwerking te garanderen, waardoor de vorming van consistente en uniforme dunne films met één kristal wordt vergemakkelijkt.

De voordelen van Semicorex SiC-gecoate gasomleidingsschijven

1. Hoge materiële zuiverheid

Semicorex handhaaft strenge productkwaliteitsnormen, beginnend bij een zorgvuldige materiaalselectie. Dankzij deze strikte zuiverheidscontrole van grondstoffen leveren Semicorex SiC-gecoate gasomleidingsschijven een laag onzuiverheidsgehalte en een uitstekende zuiverheid. Dit kan aanzienlijk voorkomen dat metaalionen en andere verontreinigingen de epitaxiale processen van halfgeleiders in gevaar brengen.

2. Superieure thermische stabiliteit

De componenten die in deze systemen worden gebruikt, moeten een uitzonderlijke thermische stabiliteit hebben, omdat epitaxiale halfgeleiderapparatuur doorgaans werkt bij temperaturen boven 1400°C. Deze uitzonderlijke thermische stabiliteit kan ervoor zorgen dat Semicorex SiC-gecoate gasomleidingsschijven bestand zijn tegen de uitdagende bedrijfsomstandigheden bij hoge temperaturen en effectief kunnen voorkomen dat onzuiverheden vrijkomen als gevolg van hoge temperaturen tijdens bedrijf, wat de kwaliteit en opbrengst van epitaxiale wafers helpt garanderen.

3. Opmerkelijke corrosieweerstand op hoge temperatuur

Onbeschermde grafietmatrices zijn gevoelig voor corrosie en het genereren van deeltjes. Daarom worden gasomleidingsschijven gewoonlijk behandeld met een siliciumcarbidecoating om hun corrosieweerstand te verbeteren. De Semicorex SiC-gecoate gasomleidingsschijven zijn bedekt met een dichte SiC-coating en bieden een uitstekende weerstand tegen oxidatie en chemische corrosie, waardoor ze stabiel kunnen functioneren gedurende een lange levensduur, zelfs onder uitdagende bedrijfsomstandigheden met hoge temperaturen en corrosieve omstandigheden.

4.Flexibele aanpassingsmogelijkheden

Semicorex is uitgerust met meerdere geavanceerde verwerkingsapparatuur, zoals CNC-bewerkingsapparatuur, vlakslijpmachines en ultrasone boorapparatuur, die ervaren verwerkingsmogelijkheden biedt. Semicorex is in staat om flexibele maatwerkdiensten aan te bieden volgens klanttekeningen en de afmetingen, toleranties, vlakheid van het oppervlak, gatdiameters en gatafstanden van SiC-gecoate gasomleidingsschijven op maat te maken om naadloze compatibiliteit met de epitaxiale apparatuur van klanten te garanderen.