SiC-focusringen

De geavanceerde, zeer zuivere SiC-focusringen van Semicorex zijn gebouwd om de extreme omstandigheden in plasma-etskamers (of droge etskamers) te weerstaan. We richten ons op halfgeleiderindustrieën zoals siliciumcarbidelagen en epitaxie-halfgeleiders. Onze producten hebben een goed prijsvoordeel en bestrijken een groot deel van de Europese en Amerikaanse markten. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

Semicorex levert SiC Focus Rings die zeer stabiel zijn voor RTA, RTP of agressieve chemische reiniging. SiC-focusringen of randringen zijn ontworpen om de etsuniformiteit rond de wafelrand of omtrek te verbeteren. Minimaliseer verontreiniging en ongepland onderhoud met zeer zuivere componenten die zijn ontworpen voor de ontberingen van plasma-etsverwerking. Onze SiC-focusringen met SiC-coating zijn een dichte, slijtvaste siliciumcarbide-coating (SiC). Het heeft hoge corrosie- en hittebestendigheidseigenschappen en een uitstekende thermische geleidbaarheid. We brengen SiC in dunne lagen aan op het grafiet met behulp van het chemische dampdepositieproces (CVD).

Parameters van SiC-focusringen

Belangrijkste specificaties van CVD-SIC-coating
SiC-CVD-eigenschappen
Kristalstructuur	FCC β-fase
Dikte	g/cm³	3.21
Hardheid	Vickers-hardheid	2500
Korrelgrootte	urn	2~10
Chemische zuiverheid	%	99.99995
Warmtecapaciteit	J kg-1 K-1	640
Sublimatie temperatuur	℃	2700
Flexurale kracht	MPa (RT 4-punts)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt bocht, 1300℃)	430
Thermische uitzetting (CTE)	10-6K-1	4.5
Thermische geleidbaarheid	(W/mK)	300

Kenmerken van SiC-focusringen

- CVD-siliciumcarbide-coatings om de levensduur te verbeteren.

- Thermische isolatie gemaakt van hoogwaardige, gezuiverde stijve koolstof.

- Koolstof/koolstofcomposiet verwarmer en plaat. - Zowel het grafietsubstraat als de siliciumcarbidelaag hebben een hoge thermische geleidbaarheid en uitstekende warmteverdelingseigenschappen.

- Zeer zuivere grafiet- en SiC-coating voor weerstand tegen gaatjes en een langere levensduur