SIC horizontale ovenbuizen

SIC horizontale ovenbuizenzijn de onmisbare dragers van het ovensysteem, gewoonlijk geplaatst in het kernverwarmingsgebied van halfgeleiderproductie- of fotovoltaïsche productieapparatuur. Ze werken samen met de verwarmingselementen, de temperatuurregelsystemen, de gasregelsystemen en de waferboten om het complete ovensysteem te vormen.

Tijdens de daadwerkelijke werking worden de horizontale SIC-ovenbuizen verwarmd door de verwarmingselementen, die de warmte gelijkmatig naar de ovenbuizen overbrengen met behulp van de uitstekende thermische geleidbaarheid van siliciumcarbidematerialen. Ondertussen worden specifieke procesgassen (zoals zuurstof, stikstof, doteringsgassen, enz.) in de ovenbuis gebracht. Onder invloed van deze gasatmosfeer met hoge temperatuur zullen halfgeleidermaterialen in de oven chemische reacties of fysieke veranderingen ondergaan, waardoor uiteindelijk materiaalmodificatie, doping of structurele optimalisatie wordt bereikt.

De SIC horizontale ovenbuizen van Semicorex leveren opmerkelijke mechanische sterkte en hardheid, die een belangrijke rol spelen in toepassingen waarbij grote volumes wafers worden gehanteerd en verwerkt. SIC horizontale ovenbuizen kunnen stabiele ondersteuning bieden voor wafers bij warmtebehandelingsprocessen zoals oxidatie, diffusie en gloeien, waardoor wordt verzekerd dat de wafers zich in de juiste positie bevinden tijdens verwerking bij hoge temperaturen en verplaatsing of vervorming veroorzaakt door thermische spanning wordt vermeden.

De SIC horizontale ovenbuizen van Semicorex zijn vervaardigd uit hoogzuiver materiaalsiliciumcarbide keramiekmet ultralaag onzuiverheidsgehalte, gevolgd door de afzetting van een CVDcoating van siliciumcarbideop hun oppervlak. Deze productiemethode voegt een beschermende laag toe aan de horizontale SIC-ovenbuizen, waardoor ze in de loop van de tijd stabiel kunnen functioneren in de veeleisende omgevingen met hoge temperaturen en corrosie. Deze corrosieweerstandsprestaties van SIC horizontale ovenbuizen verbeteren de efficiëntie van de productie van halfgeleiderwafels door het risico op corrosiegerelateerde schade aan componenten effectief te verlagen en de noodzaak voor frequente vervangingen en onderhoud te verminderen.

Met zoveel superieure eigenschappen worden de SIC horizontale ovenbuizen van Semicorex op grote schaal gebruikt in veel verwerkingsprocessen bij hoge temperaturen in de fotovoltaïsche en halfgeleiderindustrieën, zoals oxidatieprocessen, diffusieprocessen, gloeiprocessen en chemische dampafzetting onder lage druk.