SIC -oxidatiebuis

Semicorex SIC-oxidatiebuis is geconstrueerd uit siliciumcarbide-keramiek met een hoog zuivere silicium die is ontworpen voor oxidatie-, diffusie- of gloeiprocessen die typisch worden uitgevoerd bij 1600 ° C. Als onderdeel van een SIC -oven, horizontaal of verticaal, is dit de gecontroleerde omgeving waarin de wafels worden verwarmd tijdens het oxideren. De functie van de oxidatiebuis is om een schone, uniforme en stabiele omgeving te bieden voor de thermische behandeling van siliciumcarbide (SIC) wafels in de fabricage van vermogensapparaten en brede bandgap -halfgeleiders, aangezien de opening van het constante potentiële oxiderende proces van de oxidatie werkt als een consumeerbaar doelwit voor het eerste gebruik. Terwijl Quartz- en aluminiumoxidebuizen vaak in de loop van de tijd afbreken door devitrificatie, kromtrekken of chemische afbraak, heeft siliciumcarbide een uitzonderlijke duurzaamheid tegen thermische schokuitdagingen, verbetering van de mechanische eigenschap en chemische inertie. Deze factoren leveren siliciumcarbide op als een geweldige optie voor oxidatiebuizen in hoge betrouwbaarheid, hoge doorvoeromgevingen.

Met behulp van geavanceerde vormen van vorming zoals koud isostatisch drukken en drukloos sinteren (of herkristallisatie), produceert Semicorex SIC-oxidatiebuizen met een dicht, gasdichte en homogene microstructuur. Dit biedt kracht zonder het risico van porositeit, waardoor het oxidatieproces zonder verontreiniging doorgaat. SIC heeft een zeer hoge thermische geleidbaarheid, waardoor een uniforme thermische verdeling naar de wafelbelastingszone mogelijk is en dus thermische gradiënten wordt verminderd die kromgetrokken wafels of defecten kunnen veroorzaken. De weerstand van de buis tegen zuren, basen en reactieve gassen voorkomen ongewenste chemische interacties met het wafeloppervlak en ook door de ovenomgeving.

Het kruipt niet, het vervormt niet. De buis hoeft niet te worden vervangen na verschillende productiecycli-het is langdurige thermische cyclieomgevingen die anders minder materialen zouden vernietigen. Daarom betekenen geen hoge frequentie -onderbrekingen lage bedrijfskosten, en dit houdt de processtroom zonder enige verstoringen. Dit vermindert ook verontreinigingsrisico's die de opbrengstprestaties gemakkelijk kunnen verlagen in halfgeleiderapparaten van de volgende generatie waarbij sporen van sporen een cruciale rol spelen. Semicorex produceert zowel standaard- als volledig aangepaste buisafmetingen voor elk ovenplatform en dat wordt gebruikt. Binnen- en buitendiameter, lengte, wanddikte en oppervlakteafwerking zijn allemaal parameters die mogelijk een aanpassing vereisen om aan verschillende specifieke thermische en mechanische behoeften te voldoen; Van R & D-ovens op laboratoriumschaal tot grote productielijnen-in elk geval waar de buis wordt bewerkt, schoongemaakt en inspectie nodig om prestaties te garanderen.

Kwaliteitscontrole begint met dimensionale controles, materiaaldichtheidstests en validatie van thermische cyclusbetrouwbaarheid voor elke SIC -oxidatiebuis. Een sterk materiaaltraceerbaarheidssysteem registreert het product van zijn ruwe poederstadium tot definitieve inspectie. Dat soort kwaliteit geeft klanten een vaste hand in de stabiliteit en reproduceerbaarheid op lange termijn van onze SIC-oxidatiebuizen.

Kies Semicorex en krijg een partner bij een leverancier die geavanceerde keramische engineering combineert met brede procescontrole en responsieve technische ondersteuning door vanaf het begin samen te werken. We leren over uw specifieke ovenomgeving, procesvereisten en integratie -uitdagingen, zodat we u op maat gemaakte oplossingen kunnen bieden die uw procesresultaten en tool -uptime verbeteren.

Semicorex SIC -oxidatiebuis levert de best mogelijke thermische prestaties met chemische stabiliteit en mechanische sterkte. Het wordt het hart van elk SIC-verwerkingssysteem op de hoge temperatuur door een uniforme thermische omgeving te bieden tijdens oxidatie en geavanceerde halfgeleidermaterialen. Voor fabrikanten die vereisen dat ovencomponenten betrouwbaar, schoon en langdurig zijn, zal Semicorex een productkeuze zijn die wordt ondersteund door kennis en ervaring en een standaard voor het leveren van niets minder dan het beste.