Sic vacuüm chucks

SemicorexSiliciumcarbideSIC-vacuümbevels zijn hightech keramische hulpmiddelen die zijn ontworpen om veilig en betrouwbaar halfgeleiderwafels te houden tijdens het verwijderen van precisiemateriaalverwijderingsprocessen. Ze zijn ontworpen voor gebruik in ultra-clean, hoge temperatuur en chemisch harde omgevingen. SIC -vacuüm Chucks helpen bij het leveren van superieure wafeladsorptie en uitlijning. Semicorex SIC -vacuümblauwingen worden vervaardigd van siliciumcarbide keramiek met hoge zuiverheid om een uitstekende mechanische sterkte, thermische geleidbaarheid en chemische duurzaamheid te bieden.

De belangrijkste taak van een vacuümbevel is om een uniforme zuigkracht over het wafeloppervlak te trekken, zodat de wafel stabiel wordt gehouden tijdens processen zoals inspectie, afzetting, etsen en lithografie. Typische vacuümbuigingen hebben problemen met deeltjesgeneratie, kromtrekken of chemische achteruitgang in de tijd. Voor extreme halfgeleiderproductieomstandigheden zullen SIC-vacuümblauwingen een superieure duurzaamheid en stabiliteit op lange termijn bieden.

Siliciumcarbidematerialen worden zeer gewaardeerd voor hun hardheid, thermische stabiliteit en lage thermische expansiecoëfficiënt. Deze materialen blijven dimensionaal stabiel over een breed scala aan temperaturen, waardoor thermische stabiliteit en verbeterde procesnauwkeurigheid zonder thermische mismatch naar de wafer mogelijk zijn. Hun hoge thermische geleidbaarheid zorgt ook voor snelle warmte-dissipatie, wat nuttig is bij snelle thermische initiële ramp-upcondities of voor korte blootstellingen aan hoog-energy plasma's.

De SIC -keramiek heeft niet alleen thermische en mechanische voordelen, maar is ook bestand tegen plasmacorrosie en agressieve procesgassen. Deze functie maakt SIC -vacuüm -klootzakken bijzonder gunstig voor droge etsen, CVD- en PVD -processen waar kwarts- of aluminiumnitridematerialen met gebruik kunnen afbreken. De chemische inertie van SiC zal helpen bij het beperken van verontreiniging en het verbeteren van de uptime van het gereedschap.

Om superieure prestaties te bieden. Semicorex maakt SIC-vacuüm-klootzakken en specificeer extreem strakke toleranties met ultra-flat oppervlakken met kanaalstructuren in update micron's. Met deze functies biedt het wafelondersteuning met een precieze zuig- en continue zuigregio voor wafelsondersteuning die de kansen op ketting of breuk van de wafels zelf afneemt. Aangepaste ontwerpdiensten zijn ook beschikbaar voor verschillende wafers (2 "tot 12") in verschillende toepassingen.

Als hogere opbrengst, procescontrole en betrouwbaarheid zijn factoren, SiC -vacuümchucks zijn de nieuwe essentiële componenten van de volgende generatie halfgeleiderapparatuur. De toepassingen van SiC -vacuümbevels zijn direct gebonden om een toename, betrouwbaarheid van apparatuur en verwerkingscontrole op te leveren.