Sic verticale boten

Semicorex SIC verticale boten zijn ontworpen wafersdragers, ontworpen en vervaardigd om de hoogste thermische, mechanische en chemische stabiliteit te bieden voor verticale oven halfgeleiderverwerking. Gebouwd van hoge zuiverheidsiliciumcarbide, Wij geloven dat ze de beste evenwicht zijn van sterkte, duurzaamheid en netheid voor zeer geavanceerde wafel thermische verwerking, genoteerd als oxidatie, diffusie, LPCVD en gloeien in verticale ovensystemen.

De verticale ovenverwerkingsomgevingen vereisen een wafer-ondersteuningssysteem dat bestand is tegen herhaalde blootstellingen bij hoge temperatuur, vaak meer dan 1.200 ° C, en dimen-sionaal stabiel blijven zonder verontreinigingsproblemen. SiC verticale boten blinken uit in hun robuustheid in deze situaties vanwege de intrinsieke mechanische en thermische eigenschappen van herkristalliseerde of CVD -siliciumcarbide. Hun extreem lage thermische expansiecoëfficiënt zorgt voor minimale warpage of vervorming als gevolg van snelle thermische cycli. Bovendien biedt de hoge thermische geleidbaarheid de grootste lokale temperatuurhomogeniteit over alle wafels, wat cruciaal is voor de consistentie van wafer-tot-wafer in laagdikte, dopingprofielen en elektrische prestaties; Belangrijke aspecten van hoogwaardige productie in de halfgeleiderindustrie.

In vergelijking met traditionele kwartsboten, leveren SIC -verticale boten een superieure mechanische sterkte en verlengde levensduur. Quartz wordt in de loop van de tijd bros en devitrify, met name in agressieve ovenchemie, wat leidt tot hogere vervangingskosten en potentiële productie -onderbrekingen. Siliciumcarbide daarentegen handhaaft zijn integriteit, zelfs na langdurige blootstelling aan corrosieve gassen zoals chloor, HCL of ammoniak, die gebruikelijk zijn in verschillende diffusie- en LPCVD -processen. De uitzonderlijke slijtage en oxidatieweerstand vermindert de deeltjesgeneratie aanzienlijk, waardoor de wafeloppervlakken worden beschermd tegen vervuiling en vorming van defecten.

SIC-verticale boten bieden ook een aanzienlijk voordeel in termen van ultra-schone verwerking. SiC-materiaal met een hoog zuiverheid wordt onder strikte toewijding verwerkt om identificeerbare sporenverontreinigende metalen te verminderen die de operationele kenmerken van halfgeleiderapparaten kunnen verstoren. SIC verticale bootoppervlakken zijn goed afgewerkt met rechthoekige functies die de kans op het afbreken van micro-deeltjes minimaliseren. SIC -oppervlakken zijn chemisch inert en reageren niet met procesgassen en zijn daarom minder vatbaar voor besmetting. In dit opzicht zijn SiC -verticale boten goed geschikt voor de voorkant van de lijn (FEOL) en de achterkant van de line (Beol) wafelverwerkingsbewerkingen.

SIC verticale boten bieden ook ontwerpflexibiliteit. Elke verticale boot kan ontwerpspecifiek zijn voor meerdere wafersdiameters (150 mm, 200 mm of 300 mm wafels) en sleufnummer en afstand kunnen worden gebruikt om aan de procesvereisten te voldoen. Precisiebewerking en dimensionale controle zorgen voor een goede waferuitlijning en waferondersteuning die de kans op micro-kratjes of spanningsscheuren tijdens het laden, verwerking en lossen minimaliseert. Ook als superieure temperatuuruniformiteit en / of minder thermische massa vereist is voor een bepaald proces, kunnen geoptimaliseerde geometrieën en sleufontwerpen worden opgenomen in SiC -verticale bootconfiguraties, zonder mechanische eigenschappen op te offeren.

Een ander voordeel is onderhoud en operationele efficiëntie. De rigide constructie vanSicVerticale boten vermindert de vervangingstijd en frequentie, waardoor downtime of eigendomskosten worden geminimaliseerd. De thermische schokweerstand van SiC zorgt voor kortere cycli van verwarming en koeling om hogere doorvoer op productielijnen te leveren. Het onderhoud of het reinigen van SiC -verticale boten is ook heel eenvoudig; Het materiaal kan de meeste conventionele natte of stomerijprocessen doorstaan ​​die veel voorkomen in halfgeleider Fabs zoals chemische reiniging met zuren en uitslag op hoge temperatuur.

In deze moderne tijd van geavanceerde halfgeleiderfabricage waar opbrengstverbetering, besmettingcontrole en stabiliteit in het proces zijn alle belangstelling, bieden siC -verticale boten een echt technologisch voordeel. Ze gaan goed om met de fysische en chemische uitdagingen van verticale oventoepassingen en dragen bij aan de algehele procesoptimalisatie door het leveren van wafelintegriteit, consistente resultaten en een langere levensduur van apparatuur.