Semicorex levert waferboten, sokkels en op maat gemaakte waferdragers voor zowel verticale/kolom- als horizontale configuraties. Wij zijn al jaren fabrikant en leverancier van siliciumcarbide coatingfolie. Onze SiC Wafer Boat heeft een goed prijsvoordeel en bestrijkt de meeste Europese en Amerikaanse markten. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Introductie van onze hoogwaardige SiC Wafer Boat, ontworpen om een betrouwbare oplossing te bieden voor waferverwerking in verschillende industrieën. Deze keramische sokkels zijn vervaardigd uit zeer zuiver keramiek, dat uitstekende weerstand biedt tegen thermische schokken, slijtage en chemische corrosie, waardoor ze ideaal zijn voor zware waferverwerkingsomgevingen.
Onze SiC Wafer Boats zijn ook in hoge mate aanpasbaar en we kunnen met u samenwerken om op maat gemaakte sokkels te maken die aan uw unieke specificaties voldoen. Wij zijn trots op ons vermogen om hoogwaardige, betrouwbare producten te leveren die voldoen aan de eisen van onze klanten. Onze keramische waferboten zijn gemaakt om lang mee te gaan en een lange levensduur te bieden, zodat u de meeste waarde uit uw investering haalt.
Bestel nu en ervaar de voordelen van onze hoogwaardige SiC Wafer Boat bij uw waferverwerking.
Parameters van SiC Waferboot
Technische eigenschappen |
||||
Index |
Eenheid |
Waarde |
||
Materiaalnaam |
Reactie Gesinterd siliciumcarbide |
Drukloos gesinterd siliciumcarbide |
Herkristalliseerd siliciumcarbide |
|
Samenstelling |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Bulkdichtheid |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Buigsterkte |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100(1400°C) |
Druksterkte |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Hardheid |
Knoop |
2700 |
2800 |
/ |
Doorbrekende vasthoudendheid |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Thermische geleidbaarheid |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Coëfficiënt van thermische uitzetting |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Specifieke warmte |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Maximale temperatuur in de lucht |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Elasticiteitsmodulus |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Kenmerken van SiC Waferboot
- CVD-siliciumcarbide-coatings om de levensduur te verbeteren.
- Thermische isolatie gemaakt van hoogwaardige, gezuiverde stijve koolstof.
- Hebben een hoge thermische geleidbaarheid en uitstekende warmteverdelingseigenschappen.
- Zeer zuivere keramische en SiC-coating voor weerstand tegen gaatjes en een langere levensduur