SiC Waferboten

Semicorex SiC Wafer Boat, vervaardigd uit siliciumcarbide (SiC) keramiek, loopt voorop bij het voldoen aan de eisen van de halfgeleiderindustrie door ongeëvenaarde prestaties te leveren in omgevingen met hoge temperaturen. Terwijl de halfgeleiderindustrie meedogenloos de grenzen van microfabricage verlegt, wordt de vraag naar veerkrachtige en robuuste materialen van het allergrootste belang.

De SiC Wafer Boat speelt een cruciale rol bij het vasthouden en ondersteunen van meerdere wafers tijdens thermische processen zoals diffusie, oxidatie en chemische dampafzetting (CVD). Deze processen omvatten het onderwerpen van de wafels aan extreem hoge temperaturen, vaak hoger dan 1000°C, in een gecontroleerde atmosfeer. De uniformiteit en consistentie van deze thermische behandelingen zijn van cruciaal belang voor het waarborgen van de kwaliteit en prestaties van de halfgeleiderapparaten die worden vervaardigd. Het vermogen van de SiC Wafer Boat om zulke hoge temperaturen te weerstaan ​​zonder vervorming of degradatie zorgt ervoor dat de wafers uniform worden verwerkt, wat leidt tot superieure opbrengst en prestaties van het apparaat.

De uitzonderlijke thermische geleidbaarheid van de SiC-waferboten garandeert een gelijkmatige warmteverdeling over alle wafers, waardoor het risico op temperatuurgradiënten die tot defecten in de halfgeleiderapparaten kunnen leiden, wordt geminimaliseerd. Bovendien resulteert de lage thermische uitzettingscoëfficiënt (CTE) van SiC in minimale thermische uitzetting en contractie tijdens verwarmings- en koelcycli. Deze stabiliteit is cruciaal voor het voorkomen van mechanische spanning en potentiële schade aan de wafers, vooral bij krimpende apparaatgeometrieën.

Tijdens thermische processen worden wafers blootgesteld aan verschillende reactieve gassen die kunnen interageren met de materialen van de SiC-waferboot. De uitstekende chemische bestendigheid van SiC zorgt ervoor dat het niet reageert met deze gassen, waardoor verontreiniging wordt voorkomen en de zuiverheid van de wafels wordt gewaarborgd. Dit is vooral van cruciaal belang bij de productie van geavanceerde halfgeleiderapparaten, waar zelfs kleine hoeveelheden verontreiniging tot defecten kunnen leiden en de betrouwbaarheid van apparaten kunnen verminderen.