SiC-wafelcassette

Semicorex SiC wafercassette, ook wel tegelwaferboot genoemd, is speciaal ontwikkeld voor oxidatie-, diffusie- en uitgloeibewerkingen bij temperaturen boven de 1200°C. De cassettes bieden aanzienlijke mechanische ondersteuning, evenals uitlijning voor veel wafels tegelijk tijdens gebruik in een oven bij hoge temperaturen, en vertonen grote mechanische en dimensionele stabiliteit tijdens thermische spanning en daarna.  De vraag naar ultrazuivere en thermisch stabiele materialen voor systemen voor het hanteren van wafers neemt toe naarmate halfgeleiderapparaten kleiner worden en de prestaties toenemen.

De cassette is gemaakt van zeer zuiver materiaalsiliciumcarbideSiC heeft een uitstekende thermische geleidbaarheid, maatvastheid en levert betrouwbare prestaties bij herhaalde thermische cycli. Het materiaal is stabiel en kromtrekt of barst niet; de hoge stijfheid handhaaft de structurele integriteit bij hoge temperaturen gedurende lange perioden, waardoor de mechanische spanning op wafers aanzienlijk wordt verminderd, terwijl de kans wordt beperkt dat ongewenste deeltjes worden gegenereerd door hantering als gevolg van wrijving of microvibratie.

De ultrahoge zuiverheid van de SiC-wafelcassette vertoont weerstand tegen metallische of ionische verontreinigingen die de proceskamer binnendringen; iets dat absoluut noodzakelijk is voor een hoge zuiverheid om te voldoen aan de procesvereisten voor geavanceerde halfgeleiderfabricageprocessen. Door bronnen van verontreinigingen te minimaliseren zullen siliciumcarbidecassettes de wafelopbrengst en de betrouwbaarheid van het apparaat vergroten.

Dankzij de precisiebewerkingstechnologie van Semicorex kan elke cassette worden geproduceerd met nauwe toleranties, uniforme sleufsteek en parallelle uitlijning. De nauwkeurige bewerking van de materialen zorgt voor een soepel laden en lossen van wafers, waardoor de kans op krassen tijdens het hanteren van wafers wordt verkleind. De precieze spleetafstand zorgt voor een uniforme temperatuur en luchtstroom over alle wafers, wat de uniformiteit in oxidatie en diffusie bevordert en tegelijkertijd de procesvariabiliteit vermindert.

SiC heeft een uitstekende thermische geleidbaarheid, maatvastheid en levert betrouwbare prestaties bij herhaalde thermische cycli. Het materiaal is stabiel en kromtrekt of barst niet; de hoge stijfheid handhaaft de structurele integriteit bij hoge temperaturen gedurende lange perioden, waardoor de mechanische spanning op wafers aanzienlijk wordt verminderd, terwijl de kans wordt beperkt dat ongewenste deeltjes worden gegenereerd door hantering als gevolg van wrijving of microvibratie.

In aanvulling,SiCDe inertie ten opzichte van chemicaliën beschermt de wafers tegen reactie op de procesgassen (bijvoorbeeld zuurstof, waterstof, ammoniak) die doorgaans bij de verwerking betrokken zijn. De wafelcassettes zijn stabiel in oxiderende en niet-oxiderende atmosferen en kunnen worden opgenomen in de ovenworkflow voor een aantal processen zoals oxidatie, diffusie, LPCVD en uitgloeien.

Om aan specifieke procesvereisten te voldoen, biedt Semicorex op maat gemaakte SiC-wafercassettes in verschillende maten, slotaantallen en configuraties. Elke eenheid ondergaat een strenge kwaliteitscontrole en oppervlaktebehandeling om gladheid, netheid en maatnauwkeurigheid te garanderen. Optioneel polijsten van het oppervlak vermindert de vorming van deeltjes verder en verbetert de compatibiliteit met geautomatiseerde systemen voor het hanteren van wafers.