Siliconen carbideboten

Semicorex siliciumcarbideboten vertonen een uitzonderlijke thermische stabiliteit, waardoor ze de extreme temperaturen kunnen weerstaan ​​die nodig zijn voor oxidatie- en diffusieprocessen. Hun uitstekende thermische schokweerstand minimaliseert het risico op kraken of vervorming, waardoor een langdurige operationele levensduur zorgt. De SiC-samenstelling met hoge dichtheid biedt een superieure mechanische sterkte, die structurele integriteit behouden, zelfs onder continue thermische cycli. Deze uitzonderlijke weerstand tegen mechanische stress vermindert de kans op wafelverontreiniging en breuk, wat bijdraagt ​​aan hogere procesopbrengsten. Bovendien bezitten SIC -boten uitstekende chemische weerstand, die inert zijn tot agressieve procesgassen die worden gebruikt bij oxidatie- en diffusiestappen. Dit kenmerk voorkomt ongewenste reacties die de waferzuiverheid en productie -efficiëntie in gevaar kunnen brengen.

Siliciumcarbideboten worden voornamelijk gebruikt in oxidatie- en diffusiegerichten, waar precieze controle over blootstelling aan wafer aan hoge temperaturen en reactieve gassen essentieel is. Ze ondersteunen wafels tijdens thermische oxidatie om siliciumdioxidelagen van hoge kwaliteit te laten groeien en uniforme doping te vergemakkelijken door gecontroleerde blootstelling aan doteringsgassen. Bovendien bieden ze een stabiel platform voor gloeien en andere behandelingen op hoge temperatuur die langdurige blootstelling aan warmte vereisen.

Vergeleken met traditionele kwarts- en grafietboten, bieden siliciumcarbideboten ongeëvenaarde duurzaamheid, levensduur en prestaties. Hun vermogen om harde thermische en chemische omgevingen te weerstaan ​​en tegelijkertijd besmetting te minimaliseren, maakt hen de voorkeurskeuze voor de productie van halfcisie halfgeleiders. Met een focus op kwaliteit en innovatie leveren onze siliciumcarbide -boten superieure prestaties, waardoor hoge opbrengsten en efficiënte waferverwerking voor halfgeleiderfabrikanten wereldwijd zorgen. Of het nu gaat om geavanceerde knooppunttechnologieën of legacy halfgeleiderfabricage, deze boten bieden een betrouwbare oplossing om te voldoen aan strikte industriële vereisten.

(1) Dragen en bescherming: de siliciumcarbideboten dragen halfgeleidermaterialen zoals wafels door zijn interne beugels of slots, en gebruiken de hoge temperatuur en corrosieweerstand van siliciumcarbidematerialen om de wafels tegen de externe omgeving te beschermen.

(2) Uniforme verwarming: de siliciumcarbideboot laat de wafels binnen gelijkmatig worden verwarmd tijdens het warmtebehandelingsproces. Dit helpt ervoor te zorgen dat de temperatuur en reactiesnelheid van elk deel van de wafer consistent blijven tijdens het warmtebehandelingsproces, waardoor de opbrengst en kwaliteit van de wafel worden verbeterd.

Er zijn momenteel drie hoofdtypenSiliciumcarbide keramiekMaterialen: reactie sinteren, drukloos sinteren en herkristallisatie sinteren. In de meeste toepassingen is reacties sintered siliciumcarbide een geschikter en kosteneffectief product. Herkristalliseerde SIC-boten sinteren meestal en verwerken eerst verschillende eenheidsonderdelen, gebruik vervolgens SI-pasta om de onderdelen bij hoge temperatuur in een boot te combineren en uiteindelijk CVD-SIC-coating aan te brengen (ongeveer 100um). Omdat herkristallisatie poreus is, als er geen SIC -coating is, zal dit ook particals in het halfgeleiderproces introduceren. Dit type herkristalliseerde SIC-boot met CVD-SIC-coating heeft het langste productieproces en is erg duur. In vergelijking met SIC-gecoate grafietboten hebben CVD-SIC gecoate herkristalliseerde SIC-boten geen CTE-mismatch-probleem.