Siliciumcarbide cantileverpeddels

Semicorexsiliciumcarbide cantilever-peddels worden doorgaans gebruikt met horizontale waferboten in de verwerkingsovens op hoge temperatuur. Ze kunnen zorgen voor een nauwkeurige, soepele overdracht van waferboten in en uit ovenbuizen, waardoor een sterke ondersteuning wordt geboden voor de stabiliteit en het rendement van de halfgeleiderproductie. De cantilever-peddels van Semicorex siliciumcarbide zijn speciaal ontworpen voor waferbehandeling bij hoge temperaturen en presteren gestaag bij ongeveer 1250 °C onder een zware werkatmosfeer bestaande uit zuurstof (reactiegas), stikstof (beschermgas) en een kleine hoeveelheid waterstofchloride.

Hoogwaardige materiaalkeuze

Premiumproducten zijn afhankelijk van fijne grondstoffen. Semicorex maakt gebruik van zeer zuivere siliciumcarbide-grondstof om ervoor te zorgen dat onze siliciumcarbide cantilever-peddels van topkwaliteit zijn in de hele sector. Hun bases zijn gemaakt van hoogwaardig reactiegebonden siliciumcarbide met een onzuiverheidsgehalte onder de 100 ppm en hun oppervlakken zijn bedekt met een CVD SiC-coating waarbij de onzuiverheden onder de 1 ppm worden gehouden. Dit hoogwaardige materiaal voor het maken van Semicorex siliciumcarbide cantilever-peddels levert uitstekende eigenschappen op, zoals hieronder vermeld.

1. Ultrahoge reinheid:Semicorexsiliciumcarbidecantilever-peddels hebben een hoge zuiverheid en laten tijdens het gebruik geen ongewenste onzuiverheden vrijkomen, waardoor vervuiling van wafers en verwerkingsovens fundamenteel wordt geëlimineerd.

2. Stabiele thermische stabiliteit:Semicorexsiliciumcarbide cantilever-peddels werken betrouwbaar bij 1250°C en zijn bestand tegen scherpe temperatuurschommelingen bij het binnenkomen en verlaten van de oven, zonder enige vervorming of barsten.

3. Superieure mechanische sterkte:Semicorexsiliciumcarbide cantilever-peddels hebben een hoge hardheid en sterkte en zijn bestand tegen slijtage en krassen tijdens frequente duw- en trekhandelingen.

4. Betrouwbare corrosieweerstand:Semicorexcantileverpeddels van siliciumcarbideis bestand tegen ernstige corrosie door sterke alkaliën en zuren dankzij hun opmerkelijke chemische stabiliteit.

Doordacht ontwerp en precisiebewerking

Semicorexmaakt gebruik van de integrale 3D-printtechnologie om cantilever-peddels van siliciumcarbide te vormen, waardoor ze vrij zijn van zwakke spanningspunten bij verbindingen, wat een betrouwbaar laadvermogen oplevert tijdens bedrijf. Het ondersteunt ook volledige dimensionale aanpassing van cantilever-peddels van siliciumcarbide. Cantilever-peddels kunnen nauwkeurig worden aangepast qua lengte, structuur en interfacespecificatie en zijn beschikbaar om perfect te passen bij de diameters van ovenbuizen, afmetingen van de waferboot, geautomatiseerde laadsystemen en specifieke procesvereisten.