Siliciumcarbide keramische cantilever-peddels

Semicorexkeramische cantileverpeddels van siliciumcarbideworden geproduceerd door het in één stap 3D-geprinte groene lichaam bij hoge temperatuur te sinteren, gevolgd door de coatingbehandeling via chemische dampafzetting. Tijdens de daadwerkelijke werking worden keramische cantilever-peddels van siliciumcarbide aangedreven door de mechanische automatiseringssystemen om wafer-dragende componenten soepel en gestaag over te brengen naar en uit hoge-temperatuurverwerkingsapparatuur (zoals oxidatieovens, diffusieovens, CVD-ovens, enz.). Deze siliciumcarbidecomponenten kunnen op effectieve wijze de concentriciteitsnauwkeurigheid tussen de wafers en de ovenbuizen garanderen, waardoor procesuniformiteit en stabiliteit worden gegarandeerd tijdens kritische processen zoals diffusie, oxidatie en chemische dampafzetting.

De prestaties van Semicorex siliciumcarbide keramische cantileverpeddels

1. Lage vervuilingsprestaties:

Semicorexsiliciumcarbidekeramische cantilever-peddels, verwerkt met een hoge precisiebehandeling, bereiken normen voor stof- en deeltjesvrij. Hun matrices hebben een onzuiverheidsgehalte dat strikt wordt gecontroleerd onder de 300 ppm, en het onzuiverheidsgehalte van de CVD-siliciumcarbidecoating is zelfs lager dan 5 ppm.

2. Stabiliteit bij hoge temperaturen:

Dankzij de uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen en thermische schokken van siliciumcarbide, kunnen Semicorex keramische cantilever-peddels van siliciumcarbide hun structurele stabiliteit langdurig behouden bij hoge temperaturen tot 1250 ° C, zonder te vervormen, zacht te worden of beschadigd te raken door hoge temperaturen.

3. Uitzonderlijk draagvermogen:

Semicorex siliciumcarbide keramische cantilever-peddels bieden een uitzonderlijk draagvermogen dankzij hun unieke structurele ontwerp en hun superieure materiaaleigenschappen (hoge mechanische sterkte en hardheid). Dankzij dit uitzonderlijke laadvermogen zijn ze bestand tegen het gewicht van grote batches wafers en voldoen ze aan de behoeften van massaproductie, wat de efficiëntie van de batchverwerking van wafers effectief verbetert.

4. Opmerkelijke corrosieweerstand:

Semicorex siliciumcarbide keramische cantilever-peddels vertonen een uitstekende corrosieweerstand tegen zuurstof, chloor en andere corrosieve stoffen die aanwezig zijn bij hoge temperaturen in halfgeleider- en fotovoltaïsche productieprocessen. Deze superieure prestaties zijn cruciaal voor het garanderen van een soepele werking van productieprocessen door het vermijden van verliezen en tijd veroorzaakt door schade aan de keramische cantilever-peddels van siliciumcarbide.

De verpakkingsmethode van Semicorex siliciumcarbide keramische cantilever-peddels