Siliciumcarbide keramiekpeddels worden doorgaans geïnstalleerd nabij de ovenopening of proceskamer, waarbij het ene uiteinde vast is en het andere uiteinde zich uitstrekt tot in de oven of proceskamer. Tijdens de operationele verwerking positioneren keramische schoepen van siliciumcarbide de wafeldrager die de wafels draagt ​​nauwkeurig op de aangewezen locatie in de oven of proceskamer. Na verwerking halen de vrijdragende peddels de drager op, verplaatsen deze uit de oven of kamer en overhandigen deze aan de robotarm voor de volgende fase van de behandeling.

De voordelen van Semicorex siliciumcarbide keramische paddles

1. Superieure eigenschappen en betrouwbare kwaliteit

Semicorex siliciumcarbide keramische paddles bieden uitstekende stabiliteit bij hoge temperaturen, hoge sterkte, hoge hardheid, chemische stabiliteit en lage thermische uitzettingscoëfficiënt. Met deze superieure eigenschappen zijn Semicorex siliciumcarbide keramische paddles langdurig bestand tegen de uitdagende bedrijfsomstandigheden, zoals hoge temperaturen, ernstige corrosie, zware belasting en frequente mechanische bediening.

2. Nauwkeurig ondersteunen en transporteren

Vertrouwend op de uitstekende ondersteunende en transporterende prestaties, heeft Semicorexkeramische peddels van siliciumcarbidekan waferdragers nauwkeurig op hun plaats fixeren om de concentriciteit van wafers ten opzichte van ovenbuizen te garanderen, wat de procesinconsistentie die wordt veroorzaakt door het schudden en verkeerde uitlijning van de wafer tijdens het proces aanzienlijk vermindert.

3. Zeer efficiënte geautomatiseerde werking

Semicorex siliciumcarbide keramische peddels werken doorgaans in combinatie met geautomatiseerde robotlaad- en handlingsystemen om snel laden en lossen van wafers te realiseren. Dit verkort de procescycli bij de productie van halfgeleiders en fotovoltaïsche energie aanzienlijk, verbetert de productie-efficiëntie en vermindert de handmatige bedieningskosten en het risico op fouten.

De toepassingen van Semicorex siliciumcarbide keramische paddles

1. Productie van fotovoltaïsche cellen

Semicorex siliciumcarbide keramische paddles zijn zeer geschikt voor de thermische processen van fotovoltaïsche cellen, zoals de diffusie, LPCVD en PECVD van TOPCon- en PERC-cellen. Door de uniformiteit en stabiliteit van het proces te bereiken, dragen deze peddels bij aan de verbetering van de conversie-efficiëntie van fotovoltaïsche cellen.

2. Productie van halfgeleiderchips

Semicorex siliciumcarbide keramische paddles vormen de essentiële ondersteunende en transporterende componenten en worden breder toegepast in processen zoals lithografie, etsen en depositie tijdens de productie van halfgeleiderchips, waardoor een constant stabiele overdracht en nauwkeurige positionering van wafers mogelijk is.