> Producten > Keramiek > Siliciumcarbide (SiC) > Siliciumcarbide keramische wafelboot

Producten

Nieuwe Producten

Siliciumcarbide keramische wafelboot

Semicorex levert waferboten, sokkels en op maat gemaakte waferdragers voor zowel verticale/kolom- als horizontale configuraties. Wij zijn al jaren fabrikant en leverancier van siliciumcarbide coatingfolie. Onze keramische wafelboot van siliciumcarbide heeft een goed prijsvoordeel en bestrijkt de meeste Europese en Amerikaanse markten. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

Semicorex siliciumcarbide keramische waferboot, de ultieme oplossing voor het hanteren en beschermen van wafers bij de productie van halfgeleiders.
Onze keramische wafelboot van siliciumcarbide is gemaakt van hoogwaardig materiaal bedekt met een laag siliciumcarbide (SiC) volgens de CVD-methode, die een goede weerstand tegen corrosie en uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen en thermische schokken heeft. Geavanceerde keramiek levert uitstekende thermische weerstand en plasmaduurzaamheid, terwijl deeltjes en verontreinigingen worden verminderd voor waferdragers met hoge capaciteit.

Parameters van keramische wafelboot van siliciumcarbide

Technische eigenschappen
Index	Eenheid	Waarde
Materiaalnaam		Reactie Gesinterd siliciumcarbide	Drukloos gesinterd siliciumcarbide	Herkristalliseerd siliciumcarbide
Samenstelling		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkdichtheid	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Buigsterkte	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Druksterkte	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hardheid	Knoop	2700	2800	/
Doorbrekende vasthoudendheid	MPa m1/2	4.5	4	/
Thermische geleidbaarheid	W/m.k	95	120	23
Coëfficiënt van thermische uitzetting	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Specifieke warmte	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Maximale temperatuur in de lucht	℃	1200	1500	1600
Elasticiteitsmodulus	Gpa	360	410	240

Het verschil tussen SSiC en RBSiC:

1. Het sinterproces is anders. RBSiC is bedoeld om bij lage temperatuur vrij Si in siliciumcarbide te infiltreren, SSiC wordt gevormd door natuurlijke krimp bij 2100 graden.

2. SSiC heeft een gladder oppervlak, een hogere dichtheid en een hogere sterkte. Voor sommige afdichtingen met strengere oppervlakte-eisen zal SSiC beter zijn.

3. Verschillende gebruikte tijd onder verschillende PH en temperatuur, SSiC is langer dan RBSiC

Kenmerken van siliciumcarbide keramische wafelboot

Superieure hittebestendigheid en thermische uniformiteit
Fijne SiC-kristalcoating voor een glad oppervlak
Hoge duurzaamheid tegen chemische reiniging
Het materiaal is zo ontworpen dat scheuren en delaminatie niet optreden.