SiC-coating is een dunne laag op de susceptor via het chemische dampafzettingsproces (CVD). Siliciumcarbidemateriaal biedt een aantal voordelen ten opzichte van silicium, waaronder 10x de elektrische doorslagsterkte en 3x de bandafstand, waardoor het materiaal bestand is tegen hoge temperaturen en chemicaliën, uitstekende slijtvastheid en thermische geleidbaarheid.
Semicorex levert service op maat, helpt u te innoveren met componenten die langer meegaan, verkort de cyclustijden en verbetert de opbrengsten.
SiC-coating heeft verschillende unieke voordelen
Weerstand tegen hoge temperaturen: CVD SiC-gecoate susceptor is bestand tegen hoge temperaturen tot 1600 °C zonder significante thermische degradatie te ondergaan.
Chemische bestendigheid: De siliciumcarbidecoating biedt uitstekende weerstand tegen een breed scala aan chemicaliën, waaronder zuren, alkaliën en organische oplosmiddelen.
Slijtvastheid: De SiC-coating geeft het materiaal een uitstekende slijtvastheid, waardoor het geschikt is voor toepassingen met hoge slijtage.
Thermische geleidbaarheid: De CVD SiC-coating geeft het materiaal een hoge thermische geleidbaarheid, waardoor het geschikt is voor gebruik in toepassingen met hoge temperaturen die een efficiënte warmteoverdracht vereisen.
Hoge sterkte en stijfheid: de met siliciumcarbide gecoate susceptor geeft het materiaal een hoge sterkte en stijfheid, waardoor het geschikt is voor toepassingen die een hoge mechanische sterkte vereisen.
SiC-coating wordt in verschillende toepassingen gebruikt
LED-productie: CVD SiC-gecoate susceptor wordt gebruikt bij de productie van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV-LED, vanwege de hoge thermische geleidbaarheid en chemische weerstand.
Mobiele communicatie: CVD SiC gecoate susceptor is een cruciaal onderdeel van de HEMT om het GaN-op-SiC epitaxiale proces te voltooien.
Halfgeleiderverwerking: CVD SiC-gecoate susceptor wordt in de halfgeleiderindustrie gebruikt voor verschillende toepassingen, waaronder wafelverwerking en epitaxiale groei.
SiC-gecoate grafietcomponenten
Gemaakt van Silicon Carbide Coating (SiC) grafiet, de coating wordt via een CVD-methode aangebracht op specifieke soorten grafiet met hoge dichtheid, zodat deze kan werken in de hogetemperatuuroven met meer dan 3000 °C in een inerte atmosfeer, 2200 °C in vacuüm .
De bijzondere eigenschappen en de lage massa van het materiaal zorgen voor snelle opwarmsnelheden, een uniforme temperatuurverdeling en een uitstekende controleprecisie.
Materiaalgegevens van Semicorex SiC Coating
Typische eigenschappen |
Eenheden |
Waarden |
Structuur |
|
FCC β-fase |
Oriëntatie |
Fractie (%) |
111 voorkeur |
Bulkdichtheid |
g/cm³ |
3.21 |
Hardheid |
Vickers-hardheid |
2500 |
Warmtecapaciteit |
J kg-1 K-1 |
640 |
Thermische uitzetting 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulus |
Gpa (4pt bocht, 1300℃) |
430 |
Korrelgrootte |
urn |
2~10 |
Sublimatie temperatuur |
℃ |
2700 |
Flexurale kracht |
MPa (RT 4-punts) |
415 |
Thermische geleidbaarheid |
(W/mK) |
300 |
Conclusie CVD SiC gecoate susceptor is een composietmateriaal dat de eigenschappen van een susceptor en siliciumcarbide combineert. Dit materiaal bezit unieke eigenschappen, waaronder hoge temperatuur- en chemische bestendigheid, uitstekende slijtvastheid, hoge thermische geleidbaarheid en hoge sterkte en stijfheid. Deze eigenschappen maken het een aantrekkelijk materiaal voor diverse toepassingen bij hoge temperaturen, waaronder halfgeleiderverwerking, chemische verwerking, warmtebehandeling, productie van zonnecellen en LED-productie.
Semicorex SiC ICP-etsschijf bestaat niet alleen uit componenten; Het is een essentiële factor in de productie van geavanceerde halfgeleiders. Nu de halfgeleiderindustrie haar meedogenloze streven naar miniaturisatie en prestaties voortzet, zal de vraag naar geavanceerde materialen zoals SiC alleen maar toenemen. Het garandeert de precisie, betrouwbaarheid en prestaties die nodig zijn om onze technologiegedreven wereld van stroom te voorzien. Wij bij Semicorex zijn toegewijd aan de productie en levering van hoogwaardige SiC ICP-etsschijven die kwaliteit combineren met kostenefficiëntie.**
Lees verderStuur onderzoekEr zijn uitgebreide eigenschappen van Semicorex SiC Coated Epitaxy Disc die het tot een onmisbaar onderdeel maken bij de productie van halfgeleiders, waarbij de precisie, duurzaamheid en robuustheid van apparatuur van cruciaal belang zijn voor het succes van hightech halfgeleiderapparaten. Wij bij Semicorex zijn toegewijd aan de productie en levering van hoogwaardige SiC-gecoate epitaxieschijven die kwaliteit combineren met kostenefficiëntie.**
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC Susceptor voor ICP Etch wordt vervaardigd met de nadruk op het handhaven van hoge normen van kwaliteit en consistentie. De robuuste productieprocessen die worden gebruikt om deze susceptors te maken, zorgen ervoor dat elke batch aan strenge prestatiecriteria voldoet en betrouwbare en consistente resultaten oplevert bij het etsen van halfgeleiders. Bovendien is Semicorex uitgerust om snelle leveringsschema's aan te bieden, wat cruciaal is om gelijke tred te houden met de snelle doorlooptijden van de halfgeleiderindustrie, en ervoor te zorgen dat aan de productietijdlijnen wordt voldaan zonder concessies te doen aan de kwaliteit. Wij bij Semicorex zijn toegewijd aan het produceren en leveren van hoogwaardige SiC Susceptor voor ICP Etch die kwaliteit combineert met kostenefficië......
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC gecoate steunring is een essentieel onderdeel dat wordt gebruikt in het epitaxiale groeiproces van halfgeleiders. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC gecoate ring is een cruciaal onderdeel in het epitaxiale groeiproces van halfgeleiders, ontworpen om te voldoen aan de veeleisende eisen van de moderne halfgeleiderproductie. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekDe betrouwbaarheid en uitstekende prestaties van Semicorex SiC Boat for Solar Cell Diffusion komen voort uit hun vermogen om consistent te presteren onder de veeleisende omstandigheden van de productie van zonnecellen. De hoogwaardige materiaaleigenschappen van SiC zorgen ervoor dat deze boten optimaal presteren onder een breed scala aan bedrijfsomstandigheden, wat bijdraagt aan de stabiele en efficiënte productie van zonnecellen. Hun prestatiekenmerken omvatten uitstekende mechanische sterkte, thermische stabiliteit en weerstand tegen omgevingsstressoren, waardoor SiC Boat for Solar Cell Diffusion een onmisbaar hulpmiddel is in de fotovoltaïsche industrie.
Lees verderStuur onderzoek