Siliconencarbide scanspiegels

Semicorex Silicon Carbide Scanning Mirrors zijn de volgende generatie optische apparaten met hoge prestaties.  Ontwikkeld voor de versnelde wereld van scannen, bieden de spiegels de nieuwste generatie stralen stuur- en scanmogelijkheden voor toepassingen die een zeer hoge snelheid, hoge mate van stabiliteit en precisie vereisen. SiliciumcarbideScanspiegels hebben unieke attributen vanwege hun geavanceerde keramische productie - de spiegels zijn erg licht, maar hebben goede mechanische en thermische eigenschappen. Als zodanig worden ze beschouwd als ideaal voor optische systeemsystemen met hoge nauwkeurigheid in industrieën zoals geavanceerde lithografie, op de ruimte gebaseerde observatie, laserscan of snelle/realtime beeldvorming.

Een belangrijk aspect van de functionaliteit van siliciumcarbide-scanningspiegels is het ontwikkelen van een optimale specifieke stijfheid die voldoet aan de vereisten van hoogwaardige scannen.  De lage dichtheid en hoge elastische modulus bieden een hoog niveau van stijfheid, waardoor de structurele eigenschappen worden gehandhaafd terwijl ze door zeer hoge versnellingen en dynamische beweging worden beweegt.  Hoe groter de stijfheid, hoe lager de vervorming wanneer ze worden onderworpen aan zeer hoge belastingen, waardoor minder optische vervorming zorgt wanneer beeldvorming nauwkeurige positionering bij hoge snelheden vereist. In hoogfrequente scanners zal de starheid van de spiegel de resolutie en de bezinkingstijd rechtstreeks verbeteren.

Een andere specifieke eigenschap is de hardheid van sic.  Hardheid wordt gedefinieerd als het vermogen van een materiaal om oppervlakteschade, krassen of slijtage te weerstaan.  Verhoogde hardheid betekent een lange operationele levensduur - zelfs in barre omstandigheden met schurende deeltjes en herhaalde reiniging. De hoge hardheid stelt de spiegels ook in staat om hun oppervlaknauwkeurigheid te behouden over uitgebreide gebruikscycli, het behouden van optische prestaties en het verminderen van onderhoudsvereisten.

Thermisch beheer is een ander kenmerk waar siliciumcarbide schijnt. Vanwege een hoge thermische geleidbaarheid kan SiC warmteophoping afwijzen van laserstralen met hoge vermogen of van thermische omgevingsveranderingen. Dit helpt thermische gradiënten te minimaliseren die spiegelvervorming of verkeerde uitlijning kunnen veroorzaken, waardoor consistente prestaties mogelijk zijn tijdens lang operationeel gebruik. De hoge thermische stabiliteit SiC van Vertex minimaliseert expansie/contractie met temperatuurveranderingen, waardoor de optische uitlijning wordt gehandhaafd wanneer dimensionale stabiliteit in alle omgevingscondities essentieel is, wat vaak werk omvat dat nodig is voor ruimtetelescopen of halfgeleiderlithografiesystemen.

Om prestaties en mogelijkheden rond de toepassing ervan te vergemakkelijken, zijn er veel oppervlaktecoatingopties beschikbaar. Het gebruik van een CVD SIC -coating kan bijvoorbeeld de uniformiteit, hardheid en weerbaarheid van het oppervlak verbeteren. Terwijl siliciumcoatings een betere reflecterende interface mogelijk maken voor extra optische coatings die kunnen worden afgezet, zoals het spiegeloppervlak zelf, en kansen bieden voor optimalisatie, afhankelijk van specifieke golflengtebereiken, laservermogensniveaus en atmosferische omstandigheden. U kunt ervoor zorgen dat de spiegel (bijvoorbeeld) de specifieke optische en duurzaamheidseis van de beoogde toepassing met deze extra oppervlaktecoatings bereikt.

Een ander belangrijk voordeel van siliciumcarbide scanspiegels is aanpassing, inclusief vorm en geometrie. Mirrors kunnen worden aangepast om plat, bolvormig en asferische oppervlakken te zijn en een hoge nauwkeurigheid in vorm wordt algemeen verwacht, afhankelijk van het optische ontwerp. Door lichtgewogen rugstructuren op te nemen, kan de massa van de spiegels verder worden verminderd zonder enig verlies van stijfheid, waardoor snellere scanning en snellere systeemreactietijd mogelijk is. Al deze functies bieden mogelijkheden voor geïndividualiseerde vorming, afwerking en coatings voor elke spiegel, afhankelijk van de optische en mechanische behoeften van de toepassing.

Siliciumcarbide scanspiegels zijn bijzonder voordelig in ruimte-gebaseerde optische systemen, waar massabesparingen, stijfheid en thermische stabiliteit helpen om overleving en prestaties in een baan te waarborgen. In lithografie bieden de dimensionale stabiliteit en hoge stijfheidseigenschappen van SIC-scanspiegels nanometerniveau-posities die cruciaal zijn voor de productie van halfgeleiders. In krachtige laserscansystemen bieden SIC's warmteverspreidingskwaliteiten en duurzaamheid van een oppervlak op lange termijn stabiliteit in de tijd en minimale vervorming.

Semicorex siliciumcarbide scanspiegels bieden een onverslaanbare combinatie van lichtgewicht constructie, hoge stijfheid, hoge hardheid, hoge thermische geleidbaarheid en thermische stabiliteit. De unieke opties van aanpasbare vormen, precisie -oppervlakte -afwerking en innovatieve coatings, waaronder CVD SIC en Silicon Open -deuren en voegen prestatiekenmerken en betrouwbaarheid toe voor de meest veeleisende optische scantapplicaties van vandaag.