Siliciumcarbide-keramiek (SiC) is een geavanceerd keramisch materiaal dat silicium en koolstof bevat. Korrels siliciumcarbide kunnen door sinteren aan elkaar worden gebonden om zeer harde keramiek te vormen. Semicorex levert op maat gemaakte siliciumcarbide-keramiek zoals u dat wenst.
Toepassingen
Bij siliciumcarbide keramiek blijven de materiaaleigenschappen constant tot temperaturen boven 1.400°C. De hoge Young’s modulus > 400 GPa zorgt voor een uitstekende maatvastheid.
Een typische toepassing voor siliciumcarbidecomponenten is de dynamische afdichtingstechnologie met behulp van wrijvingslagers en mechanische afdichtingen, bijvoorbeeld in pompen en aandrijfsystemen.
Met de geavanceerde eigenschappen is siliciumcarbidekeramiek ook ideaal voor gebruik in de halfgeleiderindustrie.
Waferboten →
Semicorex Wafer Boat is gemaakt van gesinterd siliciumcarbide-keramiek, dat goed bestand is tegen corrosie en uitstekend bestand is tegen hoge temperaturen en thermische schokken. Geavanceerde keramiek levert uitstekende thermische weerstand en plasmaduurzaamheid, terwijl deeltjes en verontreinigingen worden verminderd voor waferdragers met hoge capaciteit.
Reactie gesinterd siliciumcarbide
Vergeleken met andere sinterprocessen is de grootteverandering bij reactiesinteren tijdens het verdichtingsproces klein en kunnen producten met nauwkeurige afmetingen worden geproduceerd. De aanwezigheid van een grote hoeveelheid SiC in het gesinterde lichaam maakt echter de prestaties bij hoge temperaturen van door reactie gesinterde SiC-keramiek slechter.
Drukloos gesinterd siliciumcarbide
Drukloos gesinterd siliciumcarbide (SSiC) is een bijzonder licht en tegelijkertijd hard hoogwaardig keramiek. SSiC wordt gekenmerkt door een hoge sterkte, die zelfs bij extreme temperaturen vrijwel constant blijft.
Herkristalliseerd siliciumcarbide
Herkristalliseerd siliciumcarbide (RSiC) zijn materialen van de volgende generatie die worden gevormd door het mengen van hoogzuiver siliciumcarbide grof poeder en hoogactief siliciumcarbide fijn poeder, en na het voegen vacuüm sinteren bij 2450 ° C om te herkristalliseren.
Semicorex levert keramiek van halfgeleiderkwaliteit voor uw OEM-semifabricagegereedschappen en componenten voor het hanteren van wafers. Wij zijn al jaren fabrikant en leverancier van siliciumcarbide coatingfolie. Onze keramische ashuls heeft een goed prijsvoordeel en bestrijkt de meeste Europese en Amerikaanse markten. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex levert keramiek van halfgeleiderkwaliteit voor uw OEM-semifabricagegereedschappen en componenten voor het hanteren van wafers. Wij zijn al jaren fabrikant en leverancier van siliciumcarbide coatingfolie. Onze SiC-ashuls heeft een goed prijsvoordeel en bestrijkt de meeste Europese en Amerikaanse markten. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekDe geavanceerde, zeer zuivere, met siliciumcarbide gecoate componenten van Semicorex zijn gebouwd om bestand te zijn tegen de extreme omstandigheden bij het hanteren van wafers. Onze Semiconductor Wafer Chuck heeft een goed prijsvoordeel en bestrijkt veel van de Europese en Amerikaanse markten. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekDe ultrazuivere keramische componenten van Semicorex zijn perfect voor de volgende generatie lithografie- en wafelverwerkingstoepassingen en zorgen voor minimale vervuiling en bieden uitzonderlijk lange levensduur. Onze Wafer Vacuum Chuck heeft een goed prijsvoordeel en bestrijkt veel van de Europese en Amerikaanse markten. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekDe duurzame focusringen van Semicorex voor de verwerking van halfgeleiders zijn ontworpen om bestand te zijn tegen de extreme omstandigheden van plasma-etskamers die worden gebruikt bij de verwerking van halfgeleiders. Onze scherpstelringen zijn gemaakt van zeer zuiver grafiet gecoat met een dichte, slijtvaste siliciumcarbide (SiC) coating. De SiC-coating heeft hoge corrosie- en hittebestendigheidseigenschappen, evenals een uitstekende thermische geleidbaarheid. We brengen SiC in dunne lagen aan op het grafiet met behulp van het chemische dampdepositieproces (CVD) om de levensduur van onze focusringen te verbeteren.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex Plasmaverwerking focusring is speciaal ontworpen om te voldoen aan de hoge eisen van plasma-etsverwerking in de halfgeleiderindustrie. Onze geavanceerde, zeer zuivere componenten met siliciumcarbidecoating zijn gebouwd om extreme omgevingen te weerstaan en zijn geschikt voor gebruik in verschillende toepassingen, waaronder lagen van siliciumcarbide en epitaxie-halfgeleiders.
Lees verderStuur onderzoek