Siliconen carbide vacuüm chuck

Semicorex siliciumcarbide vacuüm Chuck is een belangrijk onderdeel van de productie van halfgeleiders voor processen die een hoge precisie en lage besmetting nodig hebben. De vacuümbevels zijn vervaardigd van poreuze siliciumcarbide-keramiek met veel zuiverheid en bieden uitstekende mechanische sterkte, thermische geleidbaarheid en chemische inertigheid, en hebben een nauwkeurig gecontroleerde poriënstructuur voor betrouwbare vacuümbehoud. De siliciumcarbide -vacuümchuck is een functioneel adsorptie -apparaat gemaakt van een siliciumcarbide (SIC) keramisch materiaal, dat afhankelijk is van vacuüm negatieve druk, elektrostatische adsorptie of mechanische klem om een stabiele greep van het werkstuk te verschaffen. Vacuümblauwingen hebben gebruik in halfgeleiders, fotovoltaïscheïce, precieze productie en andere toepassingen die buitengewoon hoge eisen hebben voor weerstand van materiaal hoge temperatuur, slijtvastheid en netheid.

De basis van dekokeris een poreus SIC -materiaal, dat een voorspelbare luchtperiode over het oppervlak heeft. Dit betekent dat het mogelijk is om veilig een wafer te adsorberen zonder mechanische klem en daarom het potentieel van fysieke schade of verontreiniging van het monster te immaterialiseren. Porositeit van het materiaal wordt strak geregeld - meestal met een porositeit van 35-40% - om een goede vacuümverdeling te bieden, maar ook te voldoen aan de structurele vereisten voor duurzame thermische en mechanische cycli.

Wafer -vacuüm kuikenszijn meestal gemaakt van een hard oppervlak met veel kleine gaten of kanalen op het oppervlak. Door deze kleine gaten kan de klootzak worden verbonden met een vacuümpomp, die een vacuümeffect creëert. Wanneer de wafer op de klootzak wordt geplaatst, wordt de vacuümpomp ingeschakeld en wordt de lucht door de kleine gaten getrokken, waardoor een vacuüm ontstaat tussen de wafel en de klootzak. Dit vacuümeffect creëert voldoende zuigkracht om de wafer stevig aan het chuck -oppervlak te bevestigen.

Keramische oppervlakken worden vaak gebruikt in toepassingen die een hoge zuiverheid en chemische stabiliteit vereisen. Keramiek is materialen geproduceerd door fusie op hoge temperatuur van mineralen. Over het algemeen zijn keramiek elektrische isolatoren of halfgeleiders en hebben ze een hoge weerstand tegen thermische afbraak, erosie en schade.

Semicorex bouwt op maat gemaakte siliciumcarbide -vacuümbus op de specificaties van de klant voor dingen als afmetingen, porositeit, oppervlakte -afwerking en patronen voor vacuümkanalen. Als gevolg van onze productie- en schone kamermogelijkheden bieden we het beste in lage deeltjesafval en netheid om tegemoet te komen aan de netheidseisen van alle halfgeleider Fabs en fabrikanten van apparatuur.

We kunnen een klootzak maken voor elke wafel, van 2-inch tot 12-inch wafer en aanpassing om de klootzak te integreren in een overvloed aan wafelverwerkingsapparatuur. Het kan worden gebruikt voor front-end processen en/of back-end processen, waardoor de SIC-vacuümchuck een economische, precieze, stabiele en verontreinigingsvrije middelen van wafersondersteuning is in de fab-workflow van de halfgeleider.

De Silicon Carbide -vacuüm Chuck is een essentieel hulpmiddel in de hedendaagse halfgeleiderproductie, die de beste materialen en engineering combineert. Duurzame en hechtende betrouwbaarheid door thermische en chemische uitersten maken het de perfecte ondersteuning in procestoepassingen, waaronder, waxen, dunner worden, reinigen en RTA. Door uw siliciumcarbide -vacuümbus door semicorex aan te schaffen, zorgt u voor de beste materiaalzuiverheid, aangepaste oplossingen en betrouwbare prestaties voor superieure resultaten in al uw wafer verwerkingslijnen.