Waferboot van siliciumcarbide

Semicorex ontwikkelt keramiek van halfgeleiderkwaliteit voor uw OEM-hulpmiddelen voor semi-fabricage en componenten voor het hanteren van wafers. Onze Silicon Carbide Wafer Boat heeft een goed prijsvoordeel en beslaat veel van de Europese en Amerikaanse markten. We kijken ernaar uit om uw langdurige partner in China te worden.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

Semicorex's Silicon Carbide Wafer Boat, met extreem hoge zuiverheid (tot 99,99%), uitstekende plasmaweerstand en hittebestendigheid, en beperkt voorkomen van deeltjes, wordt gebruikt in onderdelen van halfgeleiderverwerkingsapparatuur, inclusief structurele componenten en gereedschappen.
Bij Semicorex richten we ons op het leveren van hoogwaardige, kosteneffectieve Siliciumcarbide Wafer Boat, we geven prioriteit aan klanttevredenheid en bieden kosteneffectieve oplossingen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner te worden die hoogwaardige producten en uitzonderlijke klantenservice levert.
Neem vandaag nog contact met ons op voor meer informatie over onze Siliciumcarbide Wafer Boat.

Parameters van Siliciumcarbide Wafer Boat

Technische eigenschappen
Inhoudsopgave	Eenheid	Waarde
materiaal naam		Reactie gesinterd siliciumcarbide	Drukloos gesinterd siliciumcarbide	Geherkristalliseerd siliciumcarbide
Samenstelling		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkdichtheid	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2.60-2.70
Buigsterkte	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20 °C)90-100 (1400 °C)
Druksterkte	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hardheid	Knoop	2700	2800	/
Vasthoudendheid doorbreken	MPa m1/2	4.5	4	/
Warmtegeleiding	W/m.k	95	120	23
Uitzettingscoëfficiënt	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Specifieke hitte	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Maximale temperatuur in lucht	℃	1200	1500	1600
Elasticiteitsmodulus	Gpa	360	410	240

Het verschil tussen SSiC en RBSiC:

1. Het sinterproces is anders. RBSiC is om vrij Si te infiltreren in siliciumcarbide bij een lage temperatuur, SSiC wordt gevormd door natuurlijke krimp bij 2100 graden.

2. SSiC heeft een gladder oppervlak, hogere dichtheid en hogere sterkte, voor sommige afdichtingen met strengere oppervlakte-eisen, zal SSiC beter zijn.

3. Verschillende gebruikte tijd onder verschillende PH en temperatuur, SSiC is langer dan RBSiC

Kenmerken van Siliciumcarbide Wafer Boat

Superieure hittebestendigheid en thermische uniformiteit
Fijne SiC-kristalcoating voor een glad oppervlak
Hoge weerstand tegen chemische reiniging
Materiaal is zo ontworpen dat scheuren en delaminatie niet optreden.