Siliciumwafeldrager

Semicorex levert keramiek van halfgeleiderkwaliteit voor uw OEM-semifabricagegereedschappen en componenten voor het hanteren van wafers, gericht op siliciumcarbidelagen in de halfgeleiderindustrie. Wij zijn al vele jaren fabrikant en leverancier van Silicon Wafer Carrier. Onze Silicon Wafer Carrier heeft een goed prijsvoordeel en bestrijkt de meeste Europese en Amerikaanse markten. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

Bij halfgeleiderdepositieprocessen wordt gebruik gemaakt van een combinatie van vluchtige precursorgassen, plasma en hoge temperaturen om dunne films van hoge kwaliteit op wafers aan te brengen. Depositiekamers en gereedschappen voor het hanteren van wafels hebben duurzame keramische componenten nodig om deze uitdagende omgevingen het hoofd te kunnen bieden.
Semicorex Silicon Wafer Carrier is zeer zuiver siliciumcarbide, dat hoge corrosie- en hittebestendigheidseigenschappen heeft, evenals een uitstekende thermische geleidbaarheid.

Parameters van siliciumwafeldrager

Technische eigenschappen
Index	Eenheid	Waarde
Materiaalnaam		Reactie Gesinterd siliciumcarbide	Drukloos gesinterd siliciumcarbide	Herkristalliseerd siliciumcarbide
Samenstelling		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkdichtheid	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Buigsterkte	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Druksterkte	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hardheid	Knoop	2700	2800	/
Doorbrekende vasthoudendheid	MPa m1/2	4.5	4	/
Thermische geleidbaarheid	W/m.k	95	120	23
Coëfficiënt van thermische uitzetting	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Specifieke warmte	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Maximale temperatuur in de lucht	℃	1200	1500	1600
Elasticiteitsmodulus	Gpa	360	410	240

Het verschil tussen SSiC en RBSiC:

1. Het sinterproces is anders. RBSiC is bedoeld om bij lage temperatuur vrij Si in siliciumcarbide te infiltreren, SSiC wordt gevormd door natuurlijke krimp bij 2100 graden.

2. SSiC heeft een gladder oppervlak, een hogere dichtheid en een hogere sterkte. Voor sommige afdichtingen met strengere oppervlakte-eisen zal SSiC beter zijn.

3. Verschillende gebruikte tijd onder verschillende PH en temperatuur, SSiC is langer dan RBSiC

Kenmerken van Silicon Wafer Carrier

Zeer zuiver SiC-gecoat grafiet
Superieure hittebestendigheid en thermische uniformiteit
Fijne SiC-kristalcoating voor een glad oppervlak
Hoge duurzaamheid tegen chemische reiniging
Het materiaal is zo ontworpen dat scheuren en delaminatie niet optreden.

Beschikbare vormen van siliciumcarbide-keramiek:

● Keramische staaf / keramische pin / keramische plunjer

● Keramische buis / keramische bus / keramische huls

● Keramische ring / keramische ring / keramische afstandsring

● Keramische schijf

● Keramische plaat / keramisch blok

● Keramische bal

● Keramische zuiger

● Keramisch mondstuk

● Keramische smeltkroes

● Andere op maat gemaakte keramische onderdelen