> Producten > Keramiek > Siliciumcarbide (SiC) > Waferboot voor halfgeleiderproces

Producten

Nieuwe Producten

Waferboot voor halfgeleiderproces

Semicorex levert waferboten, sokkels en op maat gemaakte waferdragers voor zowel verticale/kolom- als horizontale configuraties. Wij zijn al jaren fabrikant en leverancier van siliciumcarbide coatingfolie. Onze Wafer Boat for Semiconductor Process heeft een goed prijsvoordeel en bestrijkt de meeste Europese en Amerikaanse markten. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

Semicorex SiC Wafer Boat voor halfgeleiderproces, de ultieme oplossing voor het hanteren en beschermen van wafers bij de productie van halfgeleiders. Onze waferboot voor halfgeleiderprocessen is gemaakt van hoogwaardig siliciumcarbide, dat goed bestand is tegen corrosie en uitstekend bestand is tegen hoge temperaturen en thermische schokken. Geavanceerde keramiek levert uitstekende thermische weerstand en plasmaduurzaamheid, terwijl deeltjes en verontreinigingen worden verminderd voor waferdragers met hoge capaciteit.

Parameters van Wafer Boat voor halfgeleiderproces

Technische eigenschappen
Index	Eenheid	Waarde
Materiaalnaam		Reactie Gesinterd siliciumcarbide	Drukloos gesinterd siliciumcarbide	Herkristalliseerd siliciumcarbide
Samenstelling		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkdichtheid	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Buigsterkte	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Druksterkte	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hardheid	Knoop	2700	2800	/
Doorbrekende vasthoudendheid	MPa m1/2	4.5	4	/
Thermische geleidbaarheid	W/m.k	95	120	23
Coëfficiënt van thermische uitzetting	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Specifieke warmte	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Maximale temperatuur in de lucht	℃	1200	1500	1600
Elasticiteitsmodulus	Gpa	360	410	240

Kenmerken van Wafer Boat voor halfgeleiderproces

Superieure hittebestendigheid en thermische uniformiteit
Fijne SiC-kristalcoating voor een glad oppervlak
Hoge duurzaamheid tegen chemische reiniging
Het materiaal is zo ontworpen dat scheuren en delaminatie niet optreden.