Wafelboot

Semicorex Wafer Boat is ontworpen om de zware omstandigheden van de diffusieoven te doorstaan, zoals hoge temperaturen, corrosieve omgevingen en de noodzaak van nauwkeurige plaatsing van de wafer tijdens het diffusieproces.

De Wafer Boat is gemaakt van siliciumcarbide-keramiek, gekozen vanwege zijn uitzonderlijke eigenschappen. Siliciumcarbide staat bekend om zijn hoge thermische geleidbaarheid, waardoor tijdens diffusie een gelijkmatige temperatuurverdeling over de wafers wordt gegarandeerd. Deze uniformiteit is cruciaal voor het handhaven van de integriteit van de wafers en het garanderen van consistente doteringsniveaus, die essentieel zijn voor de functionaliteit van de halfgeleiderapparaten die worden vervaardigd. Bovendien zorgen het hoge smeltpunt en de thermische stabiliteit van siliciumcarbide ervoor dat de Wafer Boat kan werken bij de hoge temperaturen die nodig zijn bij diffusieprocessen, vaak boven de 1000°C, zonder dat het materiaal verslechtert of vervormt.

Een van de belangrijkste voordelen van Siliciumcarbide-keramiek in de Wafer Boat is de uitstekende chemische bestendigheid. Deze weerstand is vooral belangrijk bij het handhaven van de zuiverheid van de halfgeleiderwafels, aangezien elke verontreiniging kan leiden tot defecten in het eindproduct, waardoor de prestaties van de geïntegreerde schakelingen in gevaar komen.

De structurele integriteit van de Wafer Boat is een andere kritische factor in het ontwerp ervan. Het ontwerp moet ervoor zorgen dat de wafers stevig op hun plaats worden gehouden, met een nauwkeurige tussenruimte om een ​​gelijkmatige blootstelling aan de reactieve gassen mogelijk te maken. Deze precisie is van vitaal belang voor het bereiken van uniforme dotering over alle wafers, wat een directe invloed heeft op de elektrische eigenschappen van de halfgeleiderapparaten.

Naast de thermische en chemische eigenschappen biedt siliciumcarbide-keramiek een uitstekende maatvastheid, cruciaal voor de hoge precisie-eisen van de halfgeleiderproductie. Deze stabiliteit zorgt ervoor dat de wafers perfect uitgelijnd blijven, waardoor een nauwkeurige en uniforme diffusie van doteerstoffen over het gehele oppervlak van elke wafer mogelijk wordt, wat leidt tot de productie van hoogwaardige halfgeleiderapparaten.

Semicorex Wafer Boat gemaakt van siliciumcarbide-keramiek is een essentieel onderdeel in het halfgeleiderdiffusieproces. De uitzonderlijke thermische geleidbaarheid, chemische bestendigheid, mechanische sterkte en maatvastheid maken het bij uitstek geschikt voor de veeleisende omstandigheden van de halfgeleiderproductie. Het gebruik ervan verbetert niet alleen de efficiëntie en betrouwbaarheid van het diffusieproces, maar draagt ​​ook bij aan de algehele kosteneffectiviteit van de productie van halfgeleiders.