Wafelboten

Semicorex-wafelboten vervaardigd uit siliciumcarbide (SIC) met hoge zuiverheid zijn essentiële componenten bij de fabricage van halfgeleiders. De halfgeleiderprocessen waarin ze worden gebruikt, omvatten meestal hoge temperatuur en corrosieve omgevingen zoals diffusie, oxidatie en LPCVD-processen. De toepassing van SIC -waferboten is ontworpen om de thermische stabiliteit en chemische weerstand te maximaliseren, waardoor optimale ondersteuning, uitlijning en transport van siliciumwafels mogelijk is tijdens de verwerking voor optimale opbrengsten en apparaatprestaties.

Siliciumcarbide is goed gedocumenteerd als een uitstekende thermisch geleidende keramiek, met een hoge mechanische sterkte en superieure thermische schokweerstand, oxidatieresistentie en agressieve chemische resistentie met chemicaliën zoals HF en HCL. De eigenschappen van SIC maken het bijzonder aantrekkelijk als materiaal voor wafersboten voor de volgende generatie halfgeleider fabricageprocessen en in omgevingen bij hoge temperatuur. SIC -wafelboten kunnen de structurele integriteit en dimensionale stabiliteit bij procestemperaturen van> 1500 ° C handhaven, waardoor het risico op kromtrekken of verontreiniging van wafels in kritieke thermische behandelingen wordt geminimaliseerd.

Elke sicwafelbootwordt vervaardigd uit hoge zuivere SiC met behulp van geavanceerde keramische vorming en sinterprocessen, en kan worden aangepast voor een uitgebreid bereik van wafeldiameters (100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm) evenals stapelconfiguraties, verticaal of horizontaal. Onze SIC -wafelboten hebben gladde oppervlakken en een uitstekende vlakheid die deeltjesgeneratie minimaliseert en ideaal zijn voor geautomatiseerde wafelafhandelingssystemen.

Verontreinigingscontrole en opbrengst zijn twee van de meest kritieke problemen in moderne fabs. De netheid en betrouwbaarheid van SIC -wafeldragers beïnvloeden de prestaties van de productkwaliteit en het consistentieproces.  SIC Wafer -boten hebben een veel betere levensduur voor gebruik, hebben minder onderhoudsvereisten en lagere TCO dan alternatieven op basis van kwarts of aluminiumoxide. Betere levensduur betekent ook minder problemen met het afwerpen van micro-deeltjes, daarom opnieuw, wat de netheid van het wafeloppervlak beïnvloedt en de reinheid van de schone kamer beïnvloedt.

Semicorex is gericht op het ontwerpen en produceren van SIC -waferboten die de hoogst mogelijke zuiverheidsrondstoffen gebruiken in combinatie met lage verontreinigingsatmosfeer sinteren.  We doen er alles aan om lage onzuiverheidsniveaus te behouden, om de porositeit tegen lage waarde en uniforme microstructuur te handhaven, zodat het werk van het team regelmatig kan genieten van consistente thermische kenmerken, precieze waferafstand en ongeëvenaarde chemische afbraakweerstand.

Semicorex sicWafelbotenzijn een noodzakelijk element van hoge temperatuurverwerking van halfgeleiders. Hoge zuivere siliciumcarbidwafelboten hebben een ongeëvenaarde materiaalkenmerken, ontworpen uitmuntendheid en micro-besmettingvrij temperament, maken ze de keuze op hoog niveau voor de fabricage van hoge prestaties. Semicorex biedt de betrouwbaarheid en innovatieve hoge prestaties ter ondersteuning van uw meest missie kritische halfgeleiderprocessen.