Thuis > Producten > Keramiek > Siliciumcarbide (SiC) > Wafer-vacuümklauwplaat
Wafer-vacuümklauwplaat

Wafer-vacuümklauwplaat

De ultrazuivere keramische componenten van Semicorex zijn perfect voor de volgende generatie lithografie- en wafelverwerkingstoepassingen en zorgen voor minimale vervuiling en bieden uitzonderlijk lange levensduur. Onze Wafer Vacuum Chuck heeft een goed prijsvoordeel en bestrijkt veel van de Europese en Amerikaanse markten. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

De ultraplatte keramische Wafer-vacuümhouder van Semicorex is voorzien van een zeer zuivere SiC-coating tijdens het wafelverwerkingsproces. Halfgeleider Wafer Vacuüm Chuck van MOCVD-apparatuur Verbindingsgroei heeft een hoge hitte- en corrosieweerstand, die een grote stabiliteit heeft in extreme omgevingen, en verbetert het opbrengstbeheer voor de verwerking van halfgeleiderwafels. Configuraties met laag oppervlakcontact minimaliseren het risico op deeltjes aan de achterkant voor gevoelige toepassingen.

Bij Semicorex richten we ons op het leveren van hoogwaardige, kosteneffectieve wafer-vacuümklauwplaten, geven we prioriteit aan klanttevredenheid en bieden we kosteneffectieve oplossingen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner te worden, die hoogwaardige producten en een uitzonderlijke klantenservice levert.


Parameters van Wafer Vacuüm Chuck

Belangrijkste specificaties van CVD-SIC-coating

SiC-CVD-eigenschappen

Kristalstructuur

FCC β-fase

Dikte

g/cm³

3.21

Hardheid

Vickers-hardheid

2500

Korrelgrootte

urn

2~10

Chemische zuiverheid

%

99.99995

Warmtecapaciteit

J kg-1 K-1

640

Sublimatie temperatuur

2700

Flexurale kracht

MPa (RT 4-punts)

415

Young's Modulus

Gpa (4pt bocht, 1300℃)

430

Thermische uitzetting (CTE)

10-6K-1

4.5

Thermische geleidbaarheid

(W/mK)

300


Kenmerken van Wafer Vacuüm Chuck

● Ultraplatte mogelijkheden

● Spiegelglans

● Uitzonderlijk licht van gewicht

● Hoge stijfheid

● Lage thermische uitzetting

● Φ 300 mm diameter en groter

● Extreme slijtvastheid




Hottags: Wafer-vacuümklauwplaat, China, fabrikanten, leveranciers, fabriek, aangepast, bulk, geavanceerd, duurzaam
Gerelateerde categorie
Stuur onderzoek
Stel gerust uw vraag via onderstaand formulier. Wij zullen u binnen 24 uur antwoorden.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept